‘세메스’ 반도체 핵심기술 유출한 일당, 다른 기술도 빼내

습식 기술 이어 초음계 장비 설계도까지 해외 유출

세메스가 개발한 반도체 세정장비의 세정 공정 흐름도. 수원지검 제공

세메스가 개발한 반도체 세정장비 기술을 유출한 혐의로 기소된 전 연구원 일당이 다른 기술도 중국 업체에 넘겼다가 검찰에 덜미가 잡혔다.

수원지검 방위사업·산업기술범죄수사부(부장 박진성)는 16일 부정경쟁방지법 위반 등의 혐의로 세메스 전 연구원 ㄱ(47)씨 등 2명과 중국 국적의 브로커 ㄴ씨, 세메스 협력사 대표 ㄷ씨를 구속기소했다. 또 같은 혐의로 ㄷ씨 회사 소속 직원 1명도 불구속 기소했다.

ㄱ씨는 2016년 세메스를 퇴직한 뒤 2019년 직접 회사를 설립해 세메스가 세계 최초로 개발한 초임계(임계 이상의 고온, 고압의 물질의 상태) 반도체 세정장비 핵심 도면을 브로커 ㄴ씨를 통해 중국 업체에 유출한 혐의를 받는다. 그가 유출한 기술은 초임계 이산화탄소로 반도체 기판을 세정하는 첨단기술로, 세메스 외에 일본 기업 한 곳만 보유·상용화했다.

ㄱ씨는 또 세메스가 세계 2번째로 개발에 성공한 매엽식 인산 세정장비(인산 약액을 사용해 세정하는 장비) 기술 정보도 자신이 운영하는 회사 직원에게 누설한 혐의도 있다. 공정별 약액 비율 및 설비사양, 로봇 셋팅값 등의 정보를 넘긴 것으로 조사됐다.

ㄱ씨는 지난해 5월 세메스가 개발한 습식 반도체 세정장비 기술을 유출한 혐의로 구속돼 재판에 넘겨졌지만, 같은해 11월 보석으로 풀려나 불구속 상태에서 재판을 받아왔다. 검찰이 이번에 추가로 범죄 혐의를 밝혀내면서 다시 수감됐다.

검찰은 피고인들의 범죄 수익을 환수하기 위해 ㄱ씨가 운영한 업체 공장에 있던 반도체 세정장비 6세트와 부동산, 예금채권 등을 가압류해 535억원 상당을 보전 조처했다. 검찰은 기술 유출 수사 과정에서 ㄱ씨가 자신의 회사에서 허위세금계산서 발급 등으로 27억원 상당을 빼돌린 사실도 파악하고, 횡령 혐의도 함께 기소했다.

이정하 기자 jungha98@hani.co.kr