검찰, 반도체 세정장비 핵심 기술 중국에 넘긴 일당 5명 기소

삼성전자 자회사 전 직원·브로커 등 재판行
세정장비 본체 6조원·부동산 등 535억원 보전 조치
페이퍼컴퍼니서 약 27억원 횡령도

반도체 세정장비. /수원지검 제공

삼성전자 자회사 세메스가 개발한 반도체 세정장비 기술을 빼내 중국으로 유출한 전직 연구원과 기술유출 브로커 등 일당이 재판에 넘겨졌다. 세메스는 2021년 매출 약 3조1280억원에 달하는 국내 1위 반도체 세정장비 제작 업체다.

수원지검 방위사업·산업기술범죄형사부(부장검사 박진성)는 지난 13일 산업기술보호법 위반, 부정경쟁방지법 위반, 특정경제범죄가중처벌법상 횡령 등 혐의로 세메스 전 직원 A(47)씨 등 4명을 구속 상태로 기소했다. 세메스 협력사 직원 1명은 불구속 상태로 재판에 넘겨졌다.

A씨 등은 2021년 6월 세메스에서 최초로 개발해 양산에 성공한 초임계 반도체 세정장비 핵심 도면을 빼돌려 조선족인 기술 유출 브로커를 통해 중국으로 유출한 혐의를 받는다.

A씨는 2021년 3월 세메스에서 퇴직하면서 반출한 자료를 이용해 삼성전자의 메모리 및 파운드리 반도체 제작 공정 중 세메스의 세정장비가 사용되는 공정별 기술 정보(약액조성비 및 설비 사양 등), 로봇 셋팅값 등을 정리한 후 자신이 설립한 페이퍼컴퍼니 B사 팀장들에게 유출한 혐의도 받는다.

그는 또 세메스가 세계에서 2번째로 개발에 성공한 매엽식 인산 세정장비 기술 정보를 PPT 등으로 제작해 사내 메일을 통해 B사 팀장들에게 누설하고, 이른바 ‘끼워넣기 거래’ ‘허위 세금계산서 발급’ 등의 방법으로 B사 자금 약 27억원을 횡령한 것으로도 조사됐다.

앞서 A씨 등은 작년 5월 세메스의 기술 정보로 동일한 사양의 반도체 세정장비 14대를 제작한 뒤 중국 업체나 연구소 등에 팔아 710억원을 취득한 혐의로 기소된 바 있다.

수원지검 방위사업·산업기술범죄수사부 박진성 부장검사를 비롯한 부원 검사들이 인터뷰를 갖고 포즈를 취하고 있다. /박상훈 기자

반도체 세정장비는 세메스의 독보적인 기술로 만들어진 주력 제품으로, 반도체 기판에 패턴을 만드는 과정에서 발생하는 오염물질을 제거하는 장비다. 세메스는 2009년부터 2021년까지 초임계 기술개발 연구비 등 약 350억원을 투자했고, 기술 유출에 다른 경쟁력 저하로 거래처 수주가 10%만 감소해도 연간 400억원 이상의 손해가 발생하는 것으로 추산하고 있다.

그러나 A씨 등은 3년 동안 총 20대의 세정장비 등을 수출해 약 1193억원 상당의 이득을 취득한 것으로 드러났다. 검찰 관계자는 “반도체 설비 분야의 기술 경쟁력 약화는 삼성전자의 반도체 생산 경쟁력 약화로 이어져 반도체 산업 전반에 걸쳐 수조원 이상의 피해 발생이 예상된다”고 설명했다.

검찰은 반도체 세정장비 본체 6조원, 234억원 상당의 유체동산 및 301억원 상당의 예금 채권과 부동산에 대해 가압류를 진행했다.

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