초임계 반도체 세정 국내기술 中에 넘긴 5명 재판행

세메스가 세계 최초 개발한 차세대 장비…전 연구원 등 4명 구속기소

(수원=연합뉴스) 류수현 기자 = 세메스가 세계 최초로 개발한 '초임계 반도체 세정 장비' 제조 기술을 중국에 유출한 세메스 전 연구원 등이 구속돼 재판에 넘겨졌다.

수원지검 방위사업·산업기술범죄수사부(박진성 부장검사)는 부정경쟁방지법 위반 등 혐의로 세메스 전 연구원 A씨 등 2명과 기술 유출 브로커 B씨, 세메스 협력사 대표 C씨 등 4명을 구속 기소했다고 16일 밝혔다.

또 같은 혐의로 세메스 협력사 직원 1명을 불구속 기소했다.

A씨는 2016년 세메스를 그만두고 2019년 다른 회사를 설립한 뒤 2021년 6월 세메스가 세계 최초로 개발한 '초임계 반도체 세정장비' 핵심 도면을 C씨로부터 취득해 이를 브로커 B씨를 통해 중국에 유출한 혐의를 받는다.

초임계 세정 장비는 초임계(액체와 기체를 구분할 수 없는 상태) 이산화탄소로 반도체 기판을 세정하는 설비다. 이 기술은 기판 손상을 최소화하는 차세대 기술이다.

A씨는 함께 구속 기소된 세메스 전 연구원과 공모해 2021년 5∼7월 세메스가 일본에 이어 세계 2번째로 개발한 '매엽식 인산 세정장비 기술 정보'를 자신이 운영하는 회사 내부 직원들에게 누설한 혐의도 받는다.

인산 세정장비는 인산 약액을 이용해 반도체 웨이퍼를 1개씩 세정하는 장비다.

이밖에 A씨는 2019년 7월∼22년 10월 회삿돈 27억원을 횡령한 것으로도 조사됐다. 이 과정에서 브로커 B씨는 A씨가 2020년 10월 11억원을 횡령하는 데 가담한 혐의를 받는다.

A씨는 지난해 5월 세메스가 개발한 습식 반도체 세정 장비 기술을 유출한 혐의로 구속 기소된 바 있다.

그는 같은 해 11월 구속기한 만료 등으로 보석으로 풀려나 불구속 재판을 받아왔으나, 검찰이 추가 기술 유출 범죄를 밝혀내면서 다시 수감됐다.

검찰은 피고인들의 범죄 수익을 환수하기 위해 A씨 업체 공장에 있던 반도체 세정장비 본체 6세트와 예금 채권, 부동산 등을 가압류해 약 535억원 상당을 보전조치 했다.

박진성 부장검사는 "건전한 기술 개발 풍토를 해치고 공정한 시장 경쟁 질서를 해치는 산업기술 및 영업비밀 침해행위를 엄단하겠다"며 "범죄수익은 끝까지 추적할 것"이라고 말했다.

you@yna.co.kr

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