SK하이닉스, AI 로 반도체 수율 개선나서

가상계측 AI 솔루션 공정에 도입

SK하이닉스가 반도체 공정에 인공지능(AI) 솔루션을 도입해 생산 운영 효율을 확보하고 수율 개선에 나섰다.

10일 업계에 따르면 SK하이닉스는 지난해 12월부터 가상 계측 AI 솔루션 '판옵테스 VM'를 양산 팹(반도체 생산 공장)에 도입해 사용하고 있다. SK하이닉스가 투자한 산업 AI 전문 스타트업 '가우스랩스'가 출시한 판옵테스 VM은 전수 검사 대신 장비 센서 등의 데이터에 기반해 가상으로 품질을 예측한다. '판옵테스'라는 이름은 눈이 백 개 달린 그리스 신화 속 동명의 거인 이름에서 따왔다. 제조 공정 중 벌어지는 모든 일을 모니터링 한다는 의미다.

판옵테스 VM은 웨이퍼 위에 박막을 씌우는 박막 증착 공정에 우선 도입됐다. 박막의 두께와 굴절률은 반도체 품질과 직결되지만 미세한 박막에서 이를 계측하기는 매우 힘들다.

SK하이닉스는 가상계측 솔루션을 도입한 후 공정 산포(공정에서 생산된 제품들의 품질 변동 크기) 평균 21.5% 개선, 수율 향상 등 효과를 거뒀다고 공개했다. SK하이닉스와 가우스랩스는 박막 증착 공정 외 다른 공정에도 AI 솔루션을 확대 적용하는 방안을 검토하고 있다.

김영식 SK하이닉스 제조·기술 부사장은 "가우스랩스와의 협력을 통해 한층 지능화된 스마트팩토리 구현에 힘쓰고 있다"며 "반도체 개발·생산 전반에 AI 기술을 접목해 기술 우위를 지속 확보해 나갈 것"이라고 말했다.