SK하이닉스, AI로 반도체 불량 줄인다

가우스랩스 '판옵테스 VM'
박막 공정 적용해 품질 예측

SK하이닉스가 반도체 공정에 인공지능(AI) 솔루션을 도입해 완성품 중 결함이 없는 합격품 비율인 수율을 개선한다.

SK하이닉스는 지난해 12월 AI 전문 스타트업 가우스랩스가 개발한 가상계측 AI 솔루션 '판옵테스 VM' 소프트웨어를 도입했다고 10일 밝혔다.

판옵테스 VM은 센서 데이터를 활용해 제조공정 결과를 예측하는 가상계측 AI 솔루션이다. 가우스랩스는 2020년 9월 SK하이닉스가 투자해 출범한 AI 전문기업이다.

이 제품은 AI를 이용해 제조공정 결과를 예측할 수 있게 돕는다. 제조사는 제품을 만드는 과정에서 중간중간 잘 제조되고 있는지 확인하는데 이를 '계측'이라고 한다. 모든 제품을 계측하긴 어렵기 때문에 기업은 통상 일부에 대해서만 계측을 실시한다. 특히 물리적인 측정 대신 데이터에 기반해 가상으로 품질을 예측하는 것을 '가상계측'이라고 한다.

SK하이닉스는 우선 판옵테스 VM을 박막 증착 공정에 적용했다. 박막이란 절연된 반도체와 유리 등 기판상에 형성된 아주 얇은 피막이다. 박막 증착은 웨이퍼 위에 물리적·화학적 반응을 통해 박막을 입히는 공정이다. 판옵테스 VM을 도입한 후 공정 산포(해당 공정에서 생산된 제품의 품질 변동 크기)가 평균 21.5% 개선되고 수율이 향상된 것으로 나타났다. 산포가 줄어들수록 불량 가능성이 낮아진다.

SK하이닉스는 박막 공정 외에 가상계측을 적용하는 공정을 확대할 계획이다. 김영한 가우스랩스 대표는 "제조업의 혁신을 이끌어갈 제품들을 지속적으로 개발할 것"이라고 말했다.

[이새하 기자]