SK하이닉스, 반도체 공정에 AI 솔루션 도입… 수율 개선

SK하이닉스가 반도체 공정에 인공지능(AI) 솔루션을 도입해 생산 운영 효율 및 수율 개선에 나섰다.

SK하이닉스는 지난해 11월 투자한 산업 AI 전문 스타트업 '가우스랩스'의 가상 계측 AI솔루션 '판옵테스 VM' 소프트웨어를 12월부터 양산 팹에 도입해 사용하고 있다고 10일 밝혔다.

판옵테스 VM은 제조 공정 결과를 센서 데이터를 활용해 예측하는 가상 계측 AI 솔루션이다.

판옵테스 VM이 우선적으로 도입된 박막 증착 공정은 웨이퍼 위에 박막을 씌우는 핵심적인 과정으로 박막의 두께와 굴절률은 반도체의 품질과 직결된다.

미세한 박막에서 이를 계측하는 과정에는 많은 시간과 자원이 소요돼 전수 계측하는 것은 매우 어렵지만 SK하이닉스는 판옵테스 VM을 도입했다.

이후 판옵테스 VM을 통해 분석된 데이터 결과값을 APC와 연동하여 공정 산포 평균 21.5% 개선 및 수율까지 향상되는 효과를 얻었다. 향후 SK하이닉스와 가우스랩스는 박막 증착 공정 외 다른 공정에도 횡전개 확대 진행을 검토하고 있다.

김영식 SK하이닉스 제조·기술 부사장은 "반도체 개발 및 생산 전반에 AI 기술을 접목해 기술 우위를 지속 확보해 나갈 것"이라고 밝혔다.

머니S