SK하이닉스 반도체 공정에 AI 도입

SK하이닉스와 가우스랩스 직원들이 가상 계측 AI 솔루션 '판옵테스 VM'에 대해 회의를 진행하고 있다. SK하이닉스 제공

SK하이닉스가 반도체 공정에 AI(인공지능) 솔루션을 도입해 생산 운영 효율과 수율 개선에 나섰다.

SK하이닉스는 지난해 12월부터 가상 계측 AI 솔루션 '판옵테스 VM'을 양산 팹에 도입해 사용하고 있다고 10일 밝혔다.

이 제품은 지난해 11월 SK하이닉스가 투자한 산업 AI 전문 스타트업 가우스랩스가 출시한 소프트웨어로, 제조 공정 결과를 센서 데이터를 활용해 예측한다.

해당 소프트웨어가 우선 도입된 SK하이닉스 박막 증착 공정은 웨이퍼 위에 박막을 씌우는 핵심적인 과정이다. 박막의 두께와 굴절률은 반도체의 품질과 직결되지만 미세한 박막에서 이를 계측하는 과정에는 많은 시간과 자원이 소요돼, 전수 계측하는 것은 매우 어렵다.

SK하이닉스는 판옵테스 VM에서 분석된 데이터 값을 생산 공정에서 장비의 최적 조건을 찾아주는 APC 솔루션과 연동한 결과 해당 공정에서 생산된 제품들의 품질 변동 크기를 의미하는 산포가 평균 21.5% 개선됐으며 수율까지 향상됐다고 설명했다. SK하이닉스와 가우스랩스는 박막 증착 공정 외 다른 공정에도 횡전개 확대 진행을 검토하고 있다.

제조 공정에서 발생하는 실제 데이터에 AI 기술을 활용한 가상 계측 모델은 실제 계측 장비와 유사한 예측 정확도를 보인다. 이러한 가상 계측을 통해 제조사는 100% 전수 검사하는 것과 같은 효과를 볼 수 있으며, 이 가상 계측 데이터를 활용해 얻을 수 있는 효과는 무궁무진하다.

김영식 SK하이닉스 제조/기술 부사장은 "가우스랩스와의 협력을 통해 한층 지능화된 스마트팩토리(Smart Factory) 구현에 힘쓰고 있다"며 "판옵테스 VM 도입을 시작으로반도체 개발 및 생산 전반에 AI 기술을 접목하여 기술 우위를 지속 확보해 나갈 것"이라고 강조했다.전혜인기자 hye@dt.co.kr