탄소배출 적은 반도체 개발…UNIST·㈜후성, 공동 연구 플랫폼 개소

기사내용 요약
Low GWP 식각기술 개발 공동 연구

[울산=뉴시스]구미현 기자 = UNIST(울산과학기술원)는 탄소배출량을 줄인 반도체 소자 기술 개발을 위한 '후성-UNIST 공동 연구 플랫폼'을 개소했다고 20일 밝혔다.

공동 연구 목적은 반도체 가스 분야의 울산지역 대표기업인 ㈜후성과 UNIST 간에 Low GWP 식각기술 개발을 위한 개방형 공동 연구 플랫폼 구축을 위해서다.

Low GWP 식각기술은 탄소배출량이 적은 반도체 소자 형성 기술을 말한다.

이용훈 총장은 “㈜후성-UNIST 공동 연구 플랫폼을 통해 산학 연구와 인재양성을 동시에 할 수 있게 됐다”며 “대학과 기업 뿐 아니라 울산시와 더 나아가서 우리나라 반도체 발전에 크게 기여할 것으로 기대된다”고 밝혔다.

향후 공동 연구 플랫폼을 통해 ㈜후성과 UNIST는 Low-GWP 식각용 가스 및 식각 기술 개발, 차세대 반도체용 공정 기술 및 소재 개발, 산학 기술 교류회를 통한 차세대 원천 연구 과제 발굴과 핵심 인재 양성 협력에 힘쓸 예정이다.

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