‘슈퍼을’ ASML 보유한 네덜란드, 對中 반도체 수출 규제 동참 유력

반도체 업계 ‘슈퍼을’ ASML을 보유한 네덜란드가 미국의 대(對)중국 반도체장비 수출 제한에 동참하는 조치를 추진 중이라고 블룸버그 통신이 익명의 관계자를 인용해 7일(현지 시각) 보도했다. 미국은 그동안 세계 반도체 장비 산업에서 절대적인 비중을 차지하는 네덜란드와 일본에도 동참을 요구해 왔다.

블룸버그에 따르면 네덜란드와 미국은 현재 관련 협상을 진행 중이다. 양측은 이르면 다음 달 결론이 날 것으로 보고 있다. 구체적인 규제 조치 내용은 알려지진 않았지만, 14nm(나노미터) 이하의 반도체 칩 제조에 필요한 장비 수출을 제한하는 방안이 유력한 것으로 알려졌다.

미국은 앞서 지난 10월 7일 미국 기업들에 특정 수준을 넘어서는 고성능 반도체 제작 장비와 인공지능 관련 반도체를 중국에 수출하지 못하도록 하는 규제안을 발표했는데, 네덜란드도 이와 유사한 수준의 규제를 도입할 것으로 보인다.

네덜란드의 수출 통제가 현실화하면 네덜란드의 최대 반도체 장비 제조사인 ASML의 실적 악화가 불가피할 전망이다.

ASML은 최첨단 공정에 필요한 EUV 장비를 생산하는 세계 유일한 회사로 삼성전자, 인텔, 대만 TSMC 등 글로벌 반도체 업체들이 ASML의 장비를 구하기 위해 수천억원을 싸들고 줄을 설 정도로 힘이 막강해 ‘슈퍼을’로 불린다.

ASML의 전체 매출 중 중국 수출이 차지하는 비중이 15%에 이른다. ASML은 2000년 중국 지사를 설립했다. 선 보 ASML 부회장 겸 중국 총괄은 지난 9월 중국 경제매체 제몐신문과 인터뷰에서 중국 시장의 급속한 성장에 힘입어 현지 직원 수가 2017년 500명 미만에서 올해 8월말 현재 1500여명으로 3배로 뛰었다고 밝혔다.

네덜란드는 이전까지 미중 반도체 전쟁의 틈바구니에서 비교적 중립적 입장을 견지해 왔다. 중국에 심자외선(DUV) 장비를 판매했지만 미국의 압력을 의식해 더 발전된 극자외선(EUV) 장비는 판매를 보류하고 있다.

DUV 장비는 빛을 이용해 웨이퍼에 전자회로를 새기는 장비로 첨단 반도체 장비로 불리는 EUV 장비의 구형 버전이다. 이 장비는 파운드리(반도체 위탁생산)의 5나노미터(㎚·1나노는 10억분의 1m) 이하 공정 외에 다른 반도체 공정에서 주로 사용되는 장비로 메모리반도체에서는 90% 이상이 DUV 공정을 채택하고 있다.

앞서 블룸버그 통신은 미국의 대중국 반도체 수출 제한 조치로 네덜란드산 DUV 장비의 중국 판매도 중단될 수 있다고 봤다. DUV 장비가 미국의 제한 조치에 포함되기 때문이다.

미국 상무부는 지난 10월 7일 보도자료를 통해 자국 기업이 특정 수준 이상 칩을 생산하는 중국 기업에 첨단 기술을 판매할 경우 별도의 허가를 받도록 제한한다고 밝혔다.

구체적으로 미국 기업이 ▲18nm(나노미터·10억분의 1m) 이하 D램 ▲128단 이상 낸드 플래시 ▲14nm 이하 로직칩을 중국 내에서 생산하는 경우 첨단 기술 수출에 대한 허가를 받도록 한다. 생산 시설이 중국 기업 소유인 경우 이른바 ‘거부 추정 원칙(presumption of denial)’이 적용돼 수출이 사실상 전면 통제된다