나노기술원, ASML과 협력 프로젝트 추진

"세계적 반도체 테스트베드 인정"

나노기술원이 검증한 반도체 노광공정 장비의 웨이퍼 스테이지 작동을 관리하는 ASML의 컴퓨터 부품(SIOB). 사진=나노기술원 제공

나노종합기술원은 세계적 반도체 장비 기업인 ASML코리아와 반도체 핵심 노광장비 부품 신뢰성 테스트를 위한 협력 프로젝트를 추진한다고 21일 밝혔다.

ASML의 'ArF Immersion Scanner(노광장비)'는 전 세계적으로 40나노 이하 반도체 개발과 생산을 위해 많이 활용되고 있는 장비다.

ASML은 한국뿐만 아니라 전 세계적으로 안정적인 장비 유지보수 서비스 제공을 위한 부품 테스트베드 협력 기관이 필요했다. 이에 따라 나노기술원이 보유한 노광장비를 활용해 핵심 장비 부품의 신뢰성 검증 가능성을 확인하고, 나노기술원에 부품 개발 협력을 요청했다.

이 노광장비는 국내 반도체 대기업에서 반도체 생산을 위해 활용되는 핵심 장비다.

나노기술원은 ASML코리아의 부품 신뢰성 검증 지원을 통해 국내 반도체 산업에 기여할 수 있다고 판단, 이번에 양 기관 간 상호 협력을 추진하게 됐다.

이번 협력은 나노기술원이 노광장비 세계적 수준인 ASML과 협력해 반도체 부품 신뢰성 실증 평가를 지원할 수 있는 세계적 수준의 반도체 테스트베드로 인정받고 있다는 것을 의미한다고 기술원 측은 전했다.

이조원 나노기술원장은 "이번 성과로 기술원이 반도체 소부장 개발을 위한 테스트베드로서의 핵심 기능을 세계적으로 인정받은 것으로, 향후 국내외 반도체 소부장 제품개발 지원 역할을 강화해 나가겠다"고 말했다.