나노종합기술원·ASML코리아, 반도체 장비 부품 신뢰성 검증 협업

나노종합기술원의 나노팹 전경

나노종합기술원은 세계적 장비기업 ASML코리아와 '반도체 핵심 노광장비 부품 신뢰성 테스트'를 위한 협력 프로젝트를 추진한다고 21일 밝혔다.

ASML코리아에 반도체 노광장비 관련 부품 수리 요청이 들어오면 이를 수리한 후, 부품의 정상 작동 여부를 나노종기원이 보유한 '불화아르곤 이머젼 스캐너' 장비를 활용해 검증하는 방식이다.

나노종기원은 ASML이 제작한 '12인치 불화아르곤(ArF) 이머전 스캐너'를 반도체 공공 테스트베드 장비로 들여와 반도체 소재·부품·장비 성능 평가와 개발 등을 지원하고 있다. 나노종기원은 반도체 노광장비의 웨이퍼 스테이지 작동을 관리하는 컴퓨터 부품(SIOB)에 대한 수명 테스트를 통해 부품 신뢰성 검증과 정상 작동을 확인했다.

ASML코리아 관계자는 "나노종기원이 보유한 장비를 통해 실제 공정환경과 유사한 환경에서 테스트함으로써 부품의 기술적 신뢰성을 높일 수 있었다"며 "앞으로 나노종기원과 지속적으로 협업해 국내 반도체 기업이 보유한 ASML 장비의 신속하고 정확한 유지보수를 지원할 계획"이라고 말했다.

이조원 나노종기원장은 "반도체 노광장비의 세계 최고 기업인 ASML과 협력한다는 것 자체가 나노종기원이 반도체 소부장 개발 테스트베드로 역할을 하고 있음을 인정받은 것으로, 향후 국내외 반도체 소부장 개발 지원을 확대하겠다"고 밝혔다.이준기기자 bongchu@dt.co.kr