EUV 노광장비 中 공급차단...“美, 네덜란드 ASML 압박”

전선 넓어지는 미중 반도체 전쟁
NSC·상무부 고위직, 이달 네덜란드行
최첨단 노광장비 ‘중국수출 차단’ 핵심
수출제한 확대...“합의 도출 기대 안해”
동맹국에도 ‘반도체 中 수출 규제’ 설득

네덜란드 아인트호벤시 인근 벨트호벤에 있는 ASML 본사 모습. [ASML 홈페이지]

네덜란드 반도체 장비 업체 ASML 직원들이 자사 클린룸에서 극자외선(EUV) 노광장비를 점검하고 있다. [ASML 홈페이지]

미국은 중국이 첨단 반도체 기술에 접근하는 걸 제한하기 위해 이달 중 네덜란드와 협상을 진행할 예정이라고 블룸버그가 소식통을 인용해 2일(현지시간) 보도했다.

네덜란드 반도체 장비 업체로 최첨단 칩 생산에 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비를 독점 생산하는 ASML이 중국에 제품을 공급하는 걸 차단하는 게 미국 측으로선 핵심 사항인 것으로 전해졌다. 이에 따르면 미 백악관 국가안보회의(NSC)의 타룬 차브라 기술·국가안보 선임보좌관과 상무부의 엘런 에스테베즈 산업·안보담당 차관은 이런 논의를 위해 네덜란드를 방문할 계획이다.

에스테베즈 차관은 일본과 네덜란드 등 동맹국을 상대로 반도체 관련 대중 수출 통제에 동참하도록 하는 작업을 하고 있다고 지난달 27일 밝혔는데, 실제로 해당국을 찾아 협상에 나서는 것이다.

미국은 ASML이 광범위한 첨단 반도체 장비를 중국에 판매하는 걸 중단토록 네덜란드 정부에 압력을 가해왔기 때문에 양측은 수출통제 확대를 논의하게 될 것이라고 소식통은 전했다. 다만, 이 회담에서 합의가 도출될 것으로 기대하진 않는다고 했다.

차브라 보좌관 등 미 고위급의 네덜란드행은 현재 진행 중인 양자 협의의 일환이고, 양측은 기술 협력의 다른 분야도 논의할 예정이라고 전해졌다. 미 NSC·상무부와 네덜란드의 대외무역개발협력부는 모두 논평을 거부했다.

ASML은 이미 최첨단 EUV 노광장비를 중국에 팔지 않고 있지만, 미국은 더 발전한 기술에도 그런 제한을 적용하도록 밀어붙이고 있다. ASML는 5500억달러에 달하는 세계 반도체 산업에서 핵심축에 해당하는 업체다. EUV 노광장비가 없으면 첨단 반도체 생산이 불가능하기에 미국은 중국에 최대 압박을 가하기 위해 이 회사를 규합하려는 것이다. 세계 반도체 장비업체 시장은 어플라이드머티어리얼·램리서치·KLA 등 미국 업체와 일본의 도쿄일렉트론, ASML이 지배하고 있다고 블룸버그는 설명했다.

조 바이든 미 행정부는 중국 반도체 업체에 첨단 반도체 제조 장비와 설계 소프트웨어를 판매하려는 자국 회사는 상무부 산업안보국(BIS)의 허가를 받게 하는 규제를 지난달 7일 도입했다. 미국은 이런 규제를 일본 등 동맹국도 적용하도록 설득·요청하고 있다고 니혼게이자이신문이 전날 보도하기도 했다.

세계 5대 반도체 장비 업체 가운데 미국 회사 3곳은 대중 수출 규제의 적용을 받는데, 나머지 네덜란드와 일본 업체는 중국에 제품을 파는 게 상대적으로 자유롭기 때문에 격차를 좁히는 조율이 필요하다고 미국은 판단한 것으로 분석된다.

ASML는 자사의 최첨단 EUV 장비를 중국에 판매할 수 없지만, 그 보다 기술 수준이 낮은 장비를 팔 순 있었다. 덕분에 3분기 매출이 58억유로로 전년 동기 대비 10% 증가하는 등 수출통제의 영향을 미국 업체보다 덜 받았다는 평가다.

홍성원 기자

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