반도체 첨단 공정 웨이퍼 나르는 로봇 가격이..'중형차 풀옵션 1대값' [비즈360]

100% 자동화의 핵심 장비, OHT
삼성전자 평택캠퍼스 P1내 1850대 운용, 945억원 수준
세메스 OHT 국산화 성공, 생산·매출 급증

[헤럴드경제=문영규 기자] “오버헤드트랜스포테이션(OHT) 가격이 얼마인지 아시나요. OHT 가격은 중형차 풀옵션이 적용된 것과 가격이 맞먹습니다.”

삼성전자 반도체 사업의 최전선 기지인 평택캠퍼스는 거의 100% 자동화해 운영한다. 공정 자동화의 핵심 장비는 바로 반도체 상자를 공정별로 옮겨주는 자동 발송 로봇인 OHT다.

10일 삼성전자에 따르면 삼성전자 평택캠퍼스 P1 라인(1공장)에 설치된 OHT는 모두 1850대에 달한다. 대당 가격을 5000만원 수준으로 가정할 경우 설치된 장비 규모만 945억원어치에 이른다.

반도체 공장 내부인 클린룸 천장 위에 레일을 설치해 바쁘게 오가며 반도체 웨이퍼가 담긴 검은색 풉(Foup)을 각각의 공정 기계 장비로 옮긴다.

속도는 분당 300m로 사람이 조깅하는 것보다 빠르다. 풉에는 24장의 웨이퍼를 가로형태로 보관할 수 있는데 무게는 8~9㎏ 수준이다. 최대 200㎏까지 지탱할 수 있도록 튼튼하게 설계됐다.

삼성전자 관계자는 “센서가 있어서 충돌 가능성을 미연에 방지한다”며 “이전에는 풉을 사람이 직접 들고 옮기기도 했지만 OHT를 도입하면서 수고가 줄어들고 반도체 제작공정 효율은 더 높아졌다”고 설명했다.

평택캠퍼스 P1의 가장 큰 특징은 국내업체인 세메스의 OHT가 전량 도입됐다는 것이다. 세메스는 삼성전자가 91.5% 지분을 가진 계열사다. 실제 P1의 OHT에는 삼성 로고가 찍혀있다. 평택 외에도 기흥, 화성캠퍼스에도 공급된 것으로 전해졌다.

OHT 분야 선도기업은 일본 다이후쿠로 이전까지는 대부분 일본 기업으로부터 수입했다. 2006년부터 국산화 개발을 시작해 상용화까지 10년 가량 걸린 것으로 알려졌다. P1은 2017년부터 라인을 가동했다.

세메스에 따르면 2016년 물류자동화 장비 생산실적은 240대에서 2017년 1003대로 급증했고 2018년 1138대로 늘었다. 2020년엔 1265대를 생산했고 지난해 실적은 1926대로 2000대에 육박했다. 올해는 상반기까지 805대를 생산했다.

매출도 2011년 8973억원에서 지난해 3조1362억원으로 10년 만에 3.5배 수준으로 급증했다. 매출이 증가하면서 글로벌 전공정 반도체 장비 업체 순위도 2020년 7위에서 지난해 6위까지 올랐다.

세메스는 “국내 최초로 반도체 제조 물류자동화 핵심 장비인 OHT를 삼성전자 양산라인에 공급했다”며 “이 시스템은 그동안 주로 일본으로부터 수입해 왔으나 세메스가 국내 최초로 개발에 성공해 상당한 수입대체 효과를 보고 있다”고 전했다.

ygmoon@heraldcorp.com