예스티, 글로벌 기업과 '고압 어닐링 장비' 테스트 돌입

김응태 입력 2022. 8. 11. 10:03
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반도체 장비 전문기업 예스티(122640)가 자체 기술로 고압 어닐링 장비 개발을 위해 글로벌 반도체 기업과 상용화를 전제로 테스트를 진행 중이라고 11일 밝혔다.

기존 어닐링 공정은 600~1100℃의 온도를 요구할 뿐만 아니라 중수소 침투율의 한계로 산화막 계면 결함 개선 효율이 떨어지는 반면, 예스티의 장비는 고압으로 반도체 계면에 중수소 침투율을 향상시켜 효과를 극대화할 수 있다.

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[이데일리 김응태 기자] 반도체 장비 전문기업 예스티(122640)가 자체 기술로 고압 어닐링 장비 개발을 위해 글로벌 반도체 기업과 상용화를 전제로 테스트를 진행 중이라고 11일 밝혔다.

고압어닐링 장비는 반도체 제조 핵심 공정장비다. 예스티는 ‘알파’ 장비에 대해 테스트를 진행 중이며, 올해 말까지 신뢰도를 높여 상용화를 본격화할 예정이다.

예스티의 어닐링 장비는 300~800℃ 온도 범위에서 고압을 가해 100% 농도의 중수소 어닐링 공정 등에 적용할 수 있다. 기존 어닐링 공정은 600~1100℃의 온도를 요구할 뿐만 아니라 중수소 침투율의 한계로 산화막 계면 결함 개선 효율이 떨어지는 반면, 예스티의 장비는 고압으로 반도체 계면에 중수소 침투율을 향상시켜 효과를 극대화할 수 있다.

어닐링 공정은 반도체 제조 핵심 공정 중 하나로 반도체 실리콘옥사이드(Si) 표면의 결함을 고압의 수소·중수소로 치환해 제품의 신뢰성을 향상시키는 과정이다. 어닐링 공정을 마치면 반도체의 구동 전류 및 집적회로 성능이 높아진다. 삼성전자(005930), SK하이닉스(000660) 등을 비롯해 해외 주요 반도체 기업들도 정보처리 속도 향상과 수율 개선을 위해 어닐링 공정 설비에 대한 투자를 확대하고 있는 추세다.

예스티는 자체 기술로 고압 어닐링 장비를 상용화할 경우 가격 경쟁력을 갖추고, 핵심 부품 국산화로 장비 공급에 소요되는 리드타임을 단축할 수 있다고 설명했다.

예스티 관계자는 “지난 2년간 고압 어닐링 장비 개발에 주력해온 결과 자체 기술로 알파 장비를 개발해 테스트를 진행하고 있다”라며 “알파 테스트를 기반으로 장비를 개선해 베타 테스트까지 진행하면 상용화가 가능할 것으로 본다”고 말했다.

김응태 (yes010@edaily.co.kr)

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