예스티, 글로벌 기업과 '고압 어닐링 장비' 테스트 돌입
전체 맥락을 이해하기 위해서는 본문 보기를 권장합니다.
반도체 장비 전문기업 예스티(122640)가 자체 기술로 고압 어닐링 장비 개발을 위해 글로벌 반도체 기업과 상용화를 전제로 테스트를 진행 중이라고 11일 밝혔다.
기존 어닐링 공정은 600~1100℃의 온도를 요구할 뿐만 아니라 중수소 침투율의 한계로 산화막 계면 결함 개선 효율이 떨어지는 반면, 예스티의 장비는 고압으로 반도체 계면에 중수소 침투율을 향상시켜 효과를 극대화할 수 있다.
이 글자크기로 변경됩니다.
(예시) 가장 빠른 뉴스가 있고 다양한 정보, 쌍방향 소통이 숨쉬는 다음뉴스를 만나보세요. 다음뉴스는 국내외 주요이슈와 실시간 속보, 문화생활 및 다양한 분야의 뉴스를 입체적으로 전달하고 있습니다.
[이데일리 김응태 기자] 반도체 장비 전문기업 예스티(122640)가 자체 기술로 고압 어닐링 장비 개발을 위해 글로벌 반도체 기업과 상용화를 전제로 테스트를 진행 중이라고 11일 밝혔다.
예스티의 어닐링 장비는 300~800℃ 온도 범위에서 고압을 가해 100% 농도의 중수소 어닐링 공정 등에 적용할 수 있다. 기존 어닐링 공정은 600~1100℃의 온도를 요구할 뿐만 아니라 중수소 침투율의 한계로 산화막 계면 결함 개선 효율이 떨어지는 반면, 예스티의 장비는 고압으로 반도체 계면에 중수소 침투율을 향상시켜 효과를 극대화할 수 있다.
어닐링 공정은 반도체 제조 핵심 공정 중 하나로 반도체 실리콘옥사이드(Si) 표면의 결함을 고압의 수소·중수소로 치환해 제품의 신뢰성을 향상시키는 과정이다. 어닐링 공정을 마치면 반도체의 구동 전류 및 집적회로 성능이 높아진다. 삼성전자(005930), SK하이닉스(000660) 등을 비롯해 해외 주요 반도체 기업들도 정보처리 속도 향상과 수율 개선을 위해 어닐링 공정 설비에 대한 투자를 확대하고 있는 추세다.
예스티는 자체 기술로 고압 어닐링 장비를 상용화할 경우 가격 경쟁력을 갖추고, 핵심 부품 국산화로 장비 공급에 소요되는 리드타임을 단축할 수 있다고 설명했다.
예스티 관계자는 “지난 2년간 고압 어닐링 장비 개발에 주력해온 결과 자체 기술로 알파 장비를 개발해 테스트를 진행하고 있다”라며 “알파 테스트를 기반으로 장비를 개선해 베타 테스트까지 진행하면 상용화가 가능할 것으로 본다”고 말했다.
김응태 (yes010@edaily.co.kr)
Copyright © 이데일리. 무단전재 및 재배포 금지.
- 충청권 최대 250mm…11명 사망 8명 실종 ‘재산피해 막대’
- '수도권 물폭탄'에 하룻밤 모텔비 30만원…원희룡 "분노한다"
- 야구·제이릴라·스타벅스…'덕업일치' CEO 정용진[오너의 취향]
- 文이 임명한 LH 사장 사의…전현희·한상혁은?
- '리틀 우생순' 한국 18세 이하 女핸드볼, 사상 첫 세계선수권 우승 쾌거
- 스타벅스 '서머캐리백' 공식 리콜…'무상택배 회수' 카드도 꺼냈다
- "차가 물에 잠겼어요"…폭우 속 통제구역 간 만취男 덜미
- 치킨에 '담배꽁초' 튀김이?…점주 "폐업하겠다"
- "집값 떨어질라"…강남·목동 아파트 침수에도 '쉬쉬'
- “부자는 차를, 빈자는 목숨을 잃었다”