나노종기원, 삼성 보유 12인치 반도체장비 도입.. 소부장 지원 강화

박성우 기자 입력 2022. 6. 29. 21:38 수정 2022. 6. 29. 21:40
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나노종합기술원은 반도체 테스트베드 기반의 소부장 서비스 확대와 시스템반도체 지원역량 강화를 위해 삼성에서 보유한 12인치 반도체 장비 3대를 새로 도입해 나노팹에 이전 설치한다고 29일 밝혔다.

나노종기원은 29일 삼성이 보유한 12인치(300㎜) 반도체 장비 3대를 이전 설치한다고 밝혔다.

기술원은 지난해 3월 국내 처음으로 12인치 반도체 소부장 테스트베드를 구축, 관련 기업과 연구기관 등에 양산단계의 기술개발 및 실증 성능평가 서비스를 제공하고 있다.

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윤석열 대통령이 지난 4월 29일 오전 대전 유성구 카이스트 부설 나노종합기술원을 방문해 반도체 웨이퍼를 살펴보는 모습. /뉴스1

나노종합기술원은 반도체 테스트베드 기반의 소부장 서비스 확대와 시스템반도체 지원역량 강화를 위해 삼성에서 보유한 12인치 반도체 장비 3대를 새로 도입해 나노팹에 이전 설치한다고 29일 밝혔다.

나노종기원은 29일 삼성이 보유한 12인치(300㎜) 반도체 장비 3대를 이전 설치한다고 밝혔다. 글로벌 반도체 기술 경쟁에서 12인치 장비는 핵심 인프라다. 나노종기원은 반도체 시설을 활용해 중소·중견기업이 개발한 기술을 실증해주는 기관이다.

기술원은 지난해 3월 국내 처음으로 12인치 반도체 소부장 테스트베드를 구축, 관련 기업과 연구기관 등에 양산단계의 기술개발 및 실증 성능평가 서비스를 제공하고 있다.

하지만 현재 구축된 테스트베드 장비는 일부 소재 중심의 성능평가 지원에 그쳐 다양한 소재와 부품·장비 국산화 개발 지원을 위해선 추가 장비 확보가 필요한 상황이다.

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