반도체 전쟁 급한데..삼성, 300억 장비 15억에 연구소 준 까닭

나노종합기술원, 삼성전자 장비 3대 들여와국내 중소·중견기업 소재·부품·장비 실증 위해삼성의 용단..지난해부터 총 6대 저가로 이전

(서울=뉴스1) = 이재용 삼성전자 부회장이 14일(현지시간) 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사에서 피터 베닝크 CEO, 마틴 반 덴 브링크 CTO 등과 함께 반도체 장비를 점검하고 있다. (삼성전자 제공) 2022.6.15/뉴스1

삼성전자가 고가의 반도체 장비 3대를 나노종합기술원에 이전했다. 나노종기원은 반도체 시설을 활용해 중소·중견기업이 개발한 기술을 실증해주는 기관이다. 특히 이번에 삼성전자가 넘긴 장비 3대를 신규 구축하려면 300억원 이상 예산이 들지만 나노종기원은 15억원 내외로 장비를 들여왔다. 삼성전자가 반도체 분야 소재·부품·장비의 테스트베드 구축을 위해 용단을 내렸기에 가능했던 일이다.

나노종기원은 29일 삼성이 보유한 12인치(300㎜) 반도체 장비 3대를 이전 설치한다고 밝혔다. 글로벌 반도체 기술 경쟁에서 12인치 장비는 핵심 인프라다. 삼성전자는 국내 중소·중견 기업이 개발한 소재·부품·장비 실증도 반도체 경쟁력 강화를 위해 중요하다고 판단하고 저가로 장비를 넘겼다.

나노종기원 고위 관계자는 "삼성전자가 이전한 반도체 장비를 신규 구축하려면 300억원 이상이 들지만 중고장비를 나노종기원으로 지정 매각해 15억원 내외로 들여올 수 있었다"며 "최근 반도체 장비 가격 급등, 납기 지연 등으로 장비 확보가 어려운 상황 속에서도 삼성이 장비 이전을 결정해 감사할 따름"이라고 했다.

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삼성 지난해는 3대, 올해도 3대 저가 이전..."반도체 소재·부품·장비 실증"

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국내 반도체 업계는 그동안 대기업과 중소·중견기업 간 연계가 쉽지 않았다. 대기업이 필요로 하는 소재·부품·장비를 실증할 공간조차 없었기 때문이다. 나노종기원은 그동안 반도체 기술생태계 강화를 목적으로 테스트베드를 구축해왔다. 다만 구축된 장비는 일부 소재 실증에만 국한돼 추가 장비 확보가 절실했다.

삼성전자는 나노종기원이 목표하는 테스트베드 구축에 공감해 보유 장비들을 저가에 이전하기로 했다. 앞서 지난해 삼성전자는 나노종기원에 수백억원 상당의 반도체 장비 3대를 적게는 10분의1 많게는 20분의1 수준으로 이전한 것으로 알려졌다. 지난해 들여온 장비 3대는 12인치 노광장비(ArF Immersion Scanner)를 포함해 8인치(200㎜) 반도체 장비 등도 포함됐다.

이번에 삼성에서 이전을 결정한 장비는 12인치 금속박막 증착 스퍼터링, 실리콘 산화막 및 질화막 식각장비, 폴리실리콘 식각장비 등 반도체 공정에 핵심적인 장비 3대다. 특히 기존 8인치 공정 장비와 연계한 12인치 수준의 차세대 시스템반도체 개발에도 활용될 전망이다.

이조원 나노종기원 원장은 "반도체 소재·부품·장비는 기업의 개별적인 개발보다 수요 기업과 연계된 개발이 필요하다"며 "중소·중견기업이 개발한 소재·부품·장비를 실증해 대기업과 협력할 수 있도록 돕겠다"고 밝혔다.

국가 반도체 산업 육성을 위해 힘을 모은 삼성전자와 나노종합기술원. / 사진제공=나노종합기술원

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김인한 기자 science.inhan@mt.co.kr

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