12인치 대기업 반도체 장비로 소부장 기술자립 '속도'

나노종합기술원, 삼성 보유 300mm 장비 3대 도입
기술개발 지원역량 강화·공공 테스트베드 구축 기대

나노종합기술원 연구원이 기술원 12인치테스트베드에서 측정·증착 장비를 운영하고 있다. 사진=나노종합기술원 제공

대기업의 반도체 장비를 도입하고 연계 협력 등을 통해 국가 소부장(소재·부품·장비)의 기술자립이 앞당겨질 전망이다.

나노종합기술원은 삼성전자가 보유한 '12인치 반도체 장비' 3대를 나노팹에 이전 설치한다고 29일 밝혔다. 앞서 나노기술원은 국내 개발 부품의 신뢰성과 한계성 극복을 위해 대기업 장비확보가 필요하다고 판단, 지난해 삼성의 보유장비 3대를 이전받았다.

올해 이전되는 삼성 장비는 △300㎜ 금속박막 증착 스퍼터링 △실리콘 산화막·질화막 식각장비 △폴리실리콘 식각장비 등 3대로, 향후 소부장 개발과 실증테스트 등 차세대 시스템반도체 개발에 활용될 예정이다.

나노기술원은 삼성의 보유설비 이전을 계기로 차세대 선행기술개발, 시제품제작·성능평가 등 신뢰성 있는 실증데이터를 제공할 계획이다. 이에 반도체 대기업과 중소기업, 공공 테스트베드간 긴밀한 연계협력 생태계 기반 구축을 적극 추진할 예정이다.

앞서 정부는 나노종합기술원을 '12인치 테스트베드' 지정, 기술원은 지난해 3월부터 관련 기업과 연구기관 등에 양산단계 기술개발과 실증 성능평가 서비스를 제공하고 있다. 그동안 국내 반도체 소부장 기업들은 12인치 테스트베드가 없어 해외 테스트베드를 이용하는 등 대기업 납품에 어려움을 겪었다.

이조원 나노종합기술원장은 "소부장 관련 기업이 필요로 하는 장비와 공정기술 플랫폼 고도화와 개발 결과물이 수요기업에 신속히 적용될 수 있도록 대기업 등 관련기업과의 연계 협력을 강화해 소부장 기술자립을 앞당길 수 있도록 노력해 나갈 것"이라고 말했다.