삼성전자 반도체 장비 소부장 기업 지원

나노종합기술원은 삼성전자로부터 반도체 소부장 분야 성능 평가와 양산화 기술 개발을 위한 반도체 장비 3대를 이전, 설치했다. 연구자들이 나노종기원에 구축된 반도체 테스트 장비로 제작한 40㎚ 웨이퍼를 들고 있다. 나노종기원 제공

삼성전자가 보유한 반도체 장비가 중소 소재·부품·장비 기업의 성능 평가와 양산기술 개발 지원에 쓰인다.

나노종합기술원은 삼성전자의 12인치(300㎜) 반도체 장비 3대를 나노팹에 이전해 설치하고, 서비스를 시작한다고 29일 밝혔다.

삼성전자가 이전한 장비는 △300㎜ 금속박막 증착 스퍼터링 △실리콘 산화막·질화막 식각장비 △폴리실리콘 식각장비 등 3대로, 다중 챔버로 구성돼 있다. 나노종기원은 세 장비를 다양한 소부장 개발과 실증 테스트뿐 아니라 기존 200㎜ 공정 장비와 연계한 300㎜ 수준의 차세대 시스템반도체 개발 등에 활용할 계획이다.

앞서, 나노종기원은 지난해 2월 일본의 수출규제에 대응하기 위해 12인치 반도체 소부장 테스트베트를 구축하고, 관련 기업과 연구기관의 양산기술 개발 및 실증 성능평가를 지원해 왔다. 하지만, 이들 장비는 일부 소재 중심으로 성능평가를 지원해 다양한 소재와 부품·장비 국산화 지원에는 한계가 있었다. 이번 장비 이전은 나노종기원과 삼성전자가 반도체 소부장 생태계 조성과 상생에 긴밀히 협력키로 함에 따라 반도체 장비 가격 급등, 납기 지연 등 어려운 상황에서 전격적으로 이뤄졌다.

삼성은 반도체 테스트베드 구축과 중소기업이 필요로 하는 장비를 작년 3대, 올해 3대 이전한 바 있다. 나노종기원과 삼성전자는 앞으로 소부장 테스트베드 장비 확충과 고도화를 통해 차세대 선행기술 개발과 시제품 제작·성능평가를 지원하고, 대기업과 중소기업, 공공 테스트베드 간 연계 협력 생태계를 구축할 계획이다.

이조원 나노종합기술원장은 "대기업 등 관련 기업과의 협력을 강화해 소부장 기술자립을 앞당기기 위해 더욱 노력하겠다"고 말했다.이준기기자 bongchu@dt.co.kr