CIS케미칼, 日 쇼와덴코에 고순도 알루미나 소재 수출

우리나라 중소기업이 '소재 종주국' 일본에 고순도 반도체 장비 소재를 역수출하는데 성공했다. 세계 1위 소재 기업으로부터 품질을 인정받았다는 의미다.

19일 업계에 따르면 CIS케미칼은 일본 종합 소재 기업 쇼와덴코에 200만달러(약 26억원) 규모의 반도체·디스플레이 장비 소재용 알루미나를 공급한다.

CIS케미칼이 쇼와덴코에 공급한 소재는 99.9% 순도를 가진 알루미나다. 알루미나는 산화된 알루미늄을 일컫는다.

이 소재는 반도체 생산 장비에 사용된다. 반도체와 디스플레이 제조 중 증착, 식각 공정은 고온, 고압 플라스마 상태에서 진행된다. 내부 부품은 열과 부식에 강해야 한다. 고온의 플라스마에 부식되지 않아야 해서 화학적 안정성이 우수해야 한다. 이때 사용되는 대표 소재가 고순도 알루미나다.

고순도 나노 알루미나 활용해 만든 알루미나 세라믹 제품은 화학적 침식에서 비교적 자유롭다. 산, 알칼리, 유기용제 등에 거의 영향을 받지 않는다. 일반적인 금속이나 플라스틱보다 훨씬 우수한 화학적 특징을 보유했다.

알루미나는 내열성, 내마모성도 뛰어나다. 전기 절연체로서 특성도 우수하다. 반도체 장비 체임버 전체를 보호하는 하우징 소재로 주로 활용된다. 체임버 내부 상부전극, 하부전극 등을 구성하는 핵심 소재가 알루미나다. CIS케미칼이 개발한 알루미나는 평균 입자 크기가 500나노미터 이하다.

지금까지 세계 시장에서 고순도 알루미나는 일본 제품이 시장 점유율 대부분을 차지했다. CIS케미칼은 오랜 기간 연구개발을 거쳐 신뢰성 높은 알루미나를 개발했다. 일본 핵심 기업 품질 테스트도 거뜬히 통과했다. CIS케미칼은 향후 쇼와덴코 향 소재 공급량을 지속 늘릴 계획이다.

CIS케미칼은 고순도 나노 알루미나와 이차전지 분말 소재 개발 전문기업이다. 나노 융합 2020 사업 지원도 받았다. 회사는 다양한 폴더플 스마트폰 등 특수 금속 연마와 광택제용 알루미나도 개발하며 사업 영역을 꾸준히 확대하고 있다. 배터리 소재 사업 분야에서는 국내 배터리 주요 3사 중 한 곳으로부터 품질 테스트에 통과, 최종 공급 논의를 이어가고 있다. 회사는 내년 상장을 준비 중이다.

반도체 증착장비인 CVD 반응 챔버 내부 모식도

반도체와 디스플레이 공정용 적용 부품

이성오 CIS케미칼 대표는 “회사는 안정적인 품질과 공급 이력을 바탕으로 수출 규모를 지속 확대시킬 것”이라며 “글로벌 소재 전문기업으로 차별화 경쟁력을 강화할 것”이라고 말했다.

박소라기자 srpark@etnews.com