삼성전자 자회사 개발 반도체 기술 중국 유출 전 연구원 등 9명 기소

(수원=뉴스1) 유재규 기자 = 삼성전자의 자회사 '세메스'가 개발한 반도체 세정장비 기술을 중국에 유출한 자회사 전 직원이 재판에 넘겨졌다.

수원지검 방위사업‧산업기술범죄형사부(부장검사 이춘)는 25일 세메스 전 직원 A씨와 전 연구원 B씨 등 2명를 각각 부정경쟁방지법 위반(영업비밀외국누설 등), 산업기술보호법 위반 등 혐의로 구속기소 했다.

검찰은 앞서 범죄에 가담한 전 연구원, 협력사 대표 등 6명을 기소됐다.

검찰에 따르면 A씨 등은 2017년 8월~2021년 12월 세메스 회사의 기술정보인 '반도체 세정장비'에 대한 설계도면, 부품리스트 등 부정취득 한 기밀기술과 이를 토대로 만든 세정장비 14대를 제작 등 중국에 넘겨 한화 약 710억원을 불법취득 한 혐의로 기소됐다.

세메스가 개발한 '반도체 세정장비'는 고온의 황산약액을 사용해 반도체 기판을 세정하는 설비로 기판의 손상을 최소화해 오염물질을 제거하는 기술이다. 이는 반도체 불량을 줄이는 첨단기술로 알려졌다.

세메스는 삼성전자에만 반도체 세정장비를 납품했다.

기술유출은 2018년 세메스 회사에서 퇴직한 연구원들로부터 비롯된 것으로 조사됐다.

전 연구원들은 중국의 한 연구소와 접촉해 투자를 우선 받은 뒤, 반도체 세정장비 기술과 함께 14대 장비를 만들어 넘긴 것으로 알려졌다.

A씨 등은 세메스에 부품을 제작·납품하는 협력사까지 포섭하는 방식으로 세메스가 보유한 반도체 세정장비를 똑같이 조립할 수 있었다.

지난해 중순부터 사건을 수사했던 검찰은 이들의 사무실 등을 압수수색 했고 지난 1월부터 순차적으로 전 연구원, 협력사 대표 및 직원 등 6명을 차례대로 기소했다.

이 가운데 협력사 대표 등은 검찰의 압수수색이 시작되자 증거를 인멸하기도 했다.

검찰 관계자는 "첨단산업기술을 보호하기 위해 국정원, 산업통상자원부 등 유관기관과 긴밀히 협력해 국가핵심기술 유출 사범에 엄정 대응하겠다"고 말했다.

한편 세메스는 세계 최초로 '초임계 세정장비'를 개발해 상용화를 앞두고 있었다. '초임계' 방식은 이산화탄소로 기판을 세정하는 것으로 이는 반도체 기판의 손상을 최소화 하는 기술이다. 초임계와 관련된 기술은 유출되지 않은 것으로 전해졌다.

koo@news1.kr

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