절연막 불량 조기 확인..큐알티 'TDDB 수명평가 서비스'

[서울=뉴시스] 큐알티 'TDDB 수명평가 서비스'. (사진=큐알티 제공) 2022.05.20. photo@newsis.com

[서울=뉴시스] 배민욱 기자 = 반도체·전자부품 신뢰성 분석 기업 큐알티는 전력반도체의 게이트 옥사이드(절연막) 불량을 조기에 확인할 수 있는 TDDB(Time Dependent Dielectric Breakdown of Ultra-Thin Gate Dielectrics) 수명평가 서비스를 출시했다고 20일 밝혔다.

큐알티의 TDDB 수명평가 서비스는 국제반도체표준협의기구(JEDEC)에서 제정한 게이트 옥사이드 신뢰성 평가 표준인 'JESD 92'에 맞춰 설계됐다. JESD 92는 주로 초박형 게이트 산화물의 'Wear Out(마모)' 또는 TDDB(시간종속 절연항복 특성)의 가속도 매개변수를 추정하기 위해 규정됐다.

큐알티는 TDDB 수명평가 서비스를 통해 일정 수준 이상의 고압과 고온 환경에서 전력반도체가 견딜 수 있는지 확인하기 위해 50V 전압과 120도 이상의 열 조건이 충족된 가속화된 시험환경을 구축했다. 한번에 36개의 전력반도체를 동시에 테스트가 가능하다. 누설 전류를 실시간으로 파악해 일정 수준을 초과하면 불량으로 판단한다.

큐알티는 테스트 도중 전력반도체 불량이 발생하면 신속하게 원인을 분석하고 성능을 개선할 수 있도록 불량 위치를 판별하는 종합분석 서비스도 연계했다.

☞공감언론 뉴시스 mkbae@newsis.com