차세대 디스플레이 양산장비 개발한다

핵융합에너지연구원, 아바코에 기술이전
플라즈마 디스플레이·반도체 장치의 수명·안정성 개선

한국핵융합에너지연구원 유석재 원장(왼쪽)과 ㈜아바코 김광현 대표이사가 17일 'ECR 플라즈마를 이용한 스퍼터링 기술'의 기술이전 계약을 체결한 뒤 기념촬영을 하고 있다. 핵융합에너지연구원 제공

[파이낸셜뉴스] 한국핵융합에너지연구원이 보유한 플라즈마 디스플레이·반도체 제작 기술을 국내 기업에 이전해 본격적인 양산 장비개발이 추진된다. 이 기술을 활용하면 디스플레이와 반도체의 장치 수명과 안정성이 획기적으로 개선될 것으로 전망된다.

핵융합에너지연구원은 17일 ㈜아바코와 'ECR 플라즈마를 이용한 스퍼터링 기술'의 기술이전 계약을 체결했다.

아바코는 차세대 디스플레이 증착 양산 장비 개발을 추진한다. 이번 기술이전을 바탕으로 세계 최초로 양산 기술을 확보해 국내외 차세대 반도체·디스플레이 제작 시장 점유 확대를 추진한다는 계획이다.

기술이전 책임자인 김성봉 박사는 "이 기술은 그동안 해결 과제였던 양산성을 획기적으로 높인 신개념 기술로, 양산화 성공 시 국내 기업이 차세대 디스플레이 산업을 선도하는 '퍼스트 무버'로 발돋움하고, 이 분야 국가경쟁력을 높이는데 기여할 수 있을 것"이라고 말했다.

핵융합에너지연구원에 따르면, ECR 플라즈마 스퍼터링 기술은 타깃 근처에 고밀도 플라즈마의 발생과 전압 조절을 각각 독립적으로 제어할 수 있다. 이를통해 고에너지 입자에 의한 박막의 손상을 최소화하고, 박막 표면 가열 효과를 통해 저온에서 고품질의 박막을 증착하는 첨단 기술이다.

하지만 기존 기술의 경우 장치 구조적 문제로 인한 증착률 손실과 마이크로파 발생 장치의 짧은 수명, 내·외부 진공 챔버의 크기 등으로 인해 대규모 양산에 한계가 있었다.

반면 이 기술은 기존 스퍼터링 기술보다 공정 압력을 10배 낮게 운전할 수 있다. 또한 증착률과 입자의 에너지도 조절 가능해 장치 수명과 안정성을 개선했다.

한편, 아바코는 스퍼터링 기술 개발과 관련하여 13년째 핵융합에너지연구원과 협력을 진행해 온 첨단산업 분야 종합장비기업으로 그동안 2차례 기술이전을 통해 5세대 ECR 플라즈마 스퍼터 장비 개발에 성공한 바 있다.