수명·안정성 높인 '디스플레이 증착장비' 양산 추진

핵융합연, 아바코에 'ECR 플라즈마'기술 이전
차세대 디스플레이 박막증착 공정에 활용 기대

유석재(왼쪽 세번째) 핵융합연 원장과 김광현(왼쪽 네번째) 아바코 대표가 17일 핵융합연 대회의실에서 '기술이전 계약 체결식'을 갖고 기념촬영을 하고 있다. 핵융합연 제공

핵융합에너지 연구개발 과정에서 개발한 플라즈마 디스플레이·반도체 제작 기술이 국내 산업체에 이전돼 양산장비 상용화로 추진된다.

국가핵융합에너지연구원은 17일 아바코와 'ECR(전자 사이클로트론 공명) 플라즈마를 이용한 스퍼터링 기술이전' 계약을 체결했다고 밝혔다.

ECR 플라즈마 스퍼터링 기술은 타깃 근처에 고밀도 플라즈마 발생과 전압 조절을 각각 독립적으로 제어해 고에너지 입자에 의한 손상을 최소화하고, 박막 표면 가열 효과를 통해 저온에서 고품질의 박막을 증착하는 첨단 기술이다.

하지만, 기존 기술의 경우 장치 구조적 문제로 인해 증착률 손실과 마이크로파 발생 장치의 짧은 수명, 내·외부 진공챔버의 크기 등의 이유로 양산에 한계가 있었다.

이번에 이전된 기술은 기존 스퍼터링 기술보다 공정 압력을 10배 낮게 운전할 수 있으며, 증착률과 입자 에너지 조절이 가능해 장치 수명과 안정성을 획기적으로 높일 수 있다. 아바코는 이전받은 기술을 차세대 디스플레이 증착 양산장비 개발에 적용한다는 계획이다.

기술이전 책임자인 김성봉 핵융합연 책임연구원은 "이번 기술은 그동안 해결 과제였던 양산성을 획기적으로 높인 신개념 기술로, 양산화 성공 시 국내 기업이 차세대 디스플레이 산업을 선도하는 '퍼스트 무버'로 발돋움하는 전기가 될 것"이라고 말했다.

이준기기자 bongchu@dt.co.kr