K-반도체 '초격차' 유지에 꼭 필요한 기술인데..

석민수 입력 2022. 5. 16. 23:43
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[앵커]

이 초임계 세정 장비는 중국이 우리를 따라잡기 위해 가장 탐내는 반도체 핵심 기술 가운데 하나입니다.

이른바 '초격차'를 유지하기 위해 삼성 측에서도 기술 보안에 만전을 기했지만, 전에 없던 수법이 동원되면서 허를 찔린 것으로 검찰은 보고 있습니다.

단독 보도, 이어서 석민수 기자입니다.

[리포트]

초임계 세정장비의 가장 큰 특징, '물'을 쓰지 않는다는 데 있습니다.

반도체 초기 공정에선 기판인 '웨이퍼' 표면의 이물질을 제거하는 게 중요하고 보통은 '물'을 사용해 왔습니다.

극도로 정제한 '초순수'를 썼는데, 단점은, 그 물이 회로를 일부 훼손한다는 것이었습니다.

특히 반도체가 미세해질수록 물로 세정하면 더 문제가 됐습니다.

그래서 대안으로 개발된 게, '초임계 이산화탄소' 였습니다.

세정력도 유지하면서 기판 훼손도 줄여줘, 반도체 공정의 완성도를 끌어 올려줬습니다.

삼성전자와 세메스는 당연히 최고 기밀로 보호하려 했고 개발 인력은 전직을 금지하는 약정까지도 맺은 걸로 알려졌습니다.

이렇게 높은 보안으로 도면 훔치기나 인력 빼가기가 어려워지자, 이번에 새로운 수법이 동원된 셈입니다.

부품 협력사들까지 꾀어서, 아예 '공정' 전체를 통째로 복사하다시피 했습니다.

[최병덕/성균관대 전기전자공학부 교수 : "세정 전후 공정은 파악이 돼야지 그 세정 장비를 사용할 거 아니에요. 세정 과정의 어느 부분은 이제 넘어간 거겠죠."]

피의자들은 독자 기술로 동일 장비를 만들었고, 그걸 중국 측에 정상 판매한 거라고 주장하고 있습니다.

하지만 검찰은 삼성 반도체 '맞춤형'으로만 생산돼 왔던 첨단 장비를 독자 기술로 만들어내는 건 불가능하다고 보고 있습니다.

초임계 세정 장비는 지난해 국가 핵심기술로 지정됐고 D램 메모리와 파운드리 등 최신 공정 전반에 투입되고 있습니다.

하지만 초기 개발과 유출이 진행되던 2018년도만 해도 국가 핵심기술로는 미처 지정도 안 된 상태였기 때문에 피의자들은 핵심기술 유출죄를 피해가고 일반 산업기술 유출 혐의만 적용받게 됐습니다.

KBS 뉴스 석민숩니다.

촬영기자:김재현/영상편집:강정희/그래픽:채상우

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석민수 기자 (ms@kbs.co.kr)

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