800억에..반도체기술 中에 넘긴 4명

檢, 삼성 자회사 前직원 등 기소

삼성전자 자회사의 최첨단 반도체 제조장비가 중국으로 유출된 정황이 드러나 검찰이 수사에 나섰다.

수원지방검찰청 방위사업·산업기술범죄형사부(부장검사 이춘)는 삼성전자 자회사인 세메스의 '초임계 세정 장비'를 중국으로 유출한 세메스 출신 직원 2명과 협력회사 관계자 2명 등 총 4명을 부정경쟁방지법 위반 혐의로 구속 기소했다고 16일 밝혔다.

세메스가 세계 최초로 개발한 초임계 세정 장비는 액체도 기체도 아닌 '초임계' 상태의 이산화탄소를 이용해 웨이퍼를 세정하는 장치로, 초미세 반도체의 불량률을 줄이는 핵심 기술로 꼽힌다. 세메스는 이 장비를 삼성전자에만 납품해왔다.

검찰 수사에 따르면 세메스 출신 직원들은 퇴직 후 2018년 중국의 한 연구소와 접촉해 초임계 세정 장비를 그대로 만들어주겠다며 생산설비가 없는 상태에서 18억원을 받아냈다. 또 중국과 합작회사를 설립한 뒤에는 실제로 장비를 만들어주고 지금까지 총 800억원을 받은 것으로 조사됐다. 이 과정에서 세메스의 협력사들도 기술 유출에 가담한 것으로 드러났다.

검찰 관계자는 매일경제와 통화에서 "수사에 차질을 빚을 수 있어 자세한 내용을 알려줄 수는 없으나 몇 주가 지나면 최종 윤곽이 나올 것"이라고 설명했다.

[최예빈 기자]

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