검찰, 초임계 반도체 장비 중국 유출 4명 구속기소

삼성전자 자회사·협력회사 관계자들

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(경기=뉴스1) 이상휼 기자 = 초미세 반도체의 불량률을 줄이는 핵심 국내 첨단 기술 '초임계 세정 장비'를 중국으로 유출한 일당이 구속기소됐다.

수원지검은 부정경쟁방지법 위반 혐의로 삼성전자의 자회사 세메스 출신 직원 2명을 비롯해 협력회사 관계자 2명 등 4명을 구속기소했다고 16일 밝혔다.

이들은 2018년 중국 소재 연구소와 접촉해 세메스 측이 세계 최초로 개발해 삼성전자에만 납품해온 초임계 세정 장비를 그대로 만들어줄 수 있다면서 생산 설비가 없는 상태에서 18억여원을 받은 혐의로 기소됐다.

또 이들은 중국과 합작 회사를 만들어 실제로 초임계 세정 장비를 만들어 넘긴 것으로 파악됐다. 이들은 지금까지 모두 800억원의 부당이득을 올린 혐의다.

초임계 세정 장비는 액체도 기체도 아닌 '초임계' 상태의 이산화탄소로 반도체 기판을 세정하는 설비다. 기판의 손상을 최소화해 수율을 높이는 장비다.

daidaloz@news1.kr