SFA, 웨이퍼이송장치에 AI 심어..생산효율 10% 확대

日주도권 대응..차세대 OHT 개발
최적화 경로로 적시 적소 웨이퍼 전달
공정 후 웨이퍼 변화·반송 등 대폭 줄어
대규모 데이터로 보수·정비 시점 예측

SFA가 웨이퍼 이송장치(OHT)에 인공지능(AI)과 머신러닝(ML) 기술을 접목, 반도체 제조 공장(팹) 생산 효율을 대폭 끌어올리는 데 성공했다. OHT 실시간 배정과 이동 경로 최적화 뿐 아니라 사전에 정비 필요성까지 예측할 수 있게 된 결과다. SFA는 차별화한 기술력으로 일본이 주도하는 OHT 시장 공략을 본격화한다.

SFA 웨이퍼 운송장치(OHT)

SFA는 최근 AI와 사전 유지보수(PdM) 기술을 적용한 차세대 OHT를 개발했다. 웨이퍼 제조사와 반도체 제조사 후공정 분야 양산 라인에 일부 적용하는 성과를 거뒀다. SFA가 OHT 신제품을 양산 라인에서 테스트 한 결과, 팹 운용 효율을 10% 이상 끌어 올린 것으로 확인됐다. SFA 관계자는 “반도체 공정에서 필요한 웨이퍼를 실시간으로 이송하고 최적의 이동 경로를 찾아 OHT가 멈춰 서 있거나 반송되는 건 수를 대폭 줄였다”고 밝혔다.

OHT는 웨이퍼를 운송용기(FOUP)에 담아 각종 반도체 공정 장비로 이송하는 장치다. 팹 라인 천장에서 레일을 타고 필요한 위치로 이동, 웨이퍼를 옮긴다. 적시 적소에 웨이퍼를 전달해야 공정 운용 효율을 높일 수 있다. 신속한 웨이퍼 이송은 증착·식각 등 공정 후 웨이퍼 변화를 최소화할 수 있어 반도체 수율에도 영향을 미친다.

SFA는 독자 개발한 스마트 플랫폼 '네오' 핵심 기술을 OHT에 적용했다. 네오 AI 루트와 네오 플랫폼 PdM이 핵심이다. 네오 AI 루트는 OHT가 최단 시간으로 최적 운용이 가능하도록 실시간 통제하는 기술이다. 전체 공정 라인 운용과 OHT 이동 상황을 분석한다. 이를 통해 정체 구간을 실시간 확인하고 우회 경로로 이동할 수 있다. 반도체 공정 장비의 웨이퍼 수요를 즉각 파악, 공급하면서 대기 중인 OHT를 최소화한다.

네오 플랫폼 PdM은 OHT와 공정 장비에 장착된 센서를 통해 대규모 데이터를 수집한다. 데이터를 분석해 보수·정비 시점을 예측할 수 있다. 부품 수명도 상시 파악할 수 있다. 팹 현장에서 무정지 라인을 구현해 반도체 생산성을 크게 높일 수 있다는 것이 회사의 설명이다.

SFA는 AI 기술력을 앞세워 일본이 주도하는 OHT 시장 공략을 가속화한다. 고객사의 생산성 향상을 차별화 요소로 내세울 방침이다. 국내 OHT 시장은 1조원 이상으로 추정된다. 일본 다이후쿠가 시장을 선점했고 삼성전자 계열 세메스와 SK 계열 에스엠코어가 OHT 국산화에 성공, 시장 공략이 한창이다. SFA의 가세로 OHT 국산화 바람은 한층 거세질 전망이다.

SFA는 “물류 운송 등 스마트 팩토리 솔루션을 개발한 경험과 노하우를 반도체·디스플레이·배터리 등 다양한 공정 장비 분야로 확대 적용했다”면서 “SFA 사업을 다각화하고 신성장 동력을 확보할 계기가 될 것”이라고 밝혔다.

<SFA 수주기준 사업 비중 변화>

자료=SFA

권동준기자 djkwon@etnews.com