포스코, 국내 최초로 '반도체용 희귀가스 네온 생산기술' 국산화

포스코가 국내 최초로 반도체용 희귀가스 네온(Ne)의 생산 설비 및 기술을 국산화하고 성공적으로 첫 제품을 출하했다.

포스코는 12일 광양제철소 산소공장에서 유병옥 포스코 산업가스·수소사업부장, 이진수 광양제철소장, 유원양 TEMC(티이엠씨) 대표 등이 참석한 가운데 '네온 생산 설비 준공 및 출하식'을 개최했다.

포스코에 따르면 네온은 공기중에 0.00182% 밖에 포함되어 있지 않은 희귀가스로, 반도체 노광공정에서 사용되는 엑시머 레이저 가스(매우 짧은 파장의 자외선인 엑시머 레이저를 발생시키는데 사용되는 가스)의 원재료 중 하나다. 네온은 현재 수요의 전량을 수입에 의존하고 있다.

이에 포스코는 반도체용 특수가스 전문기업인 TEMC와 협력하여 2019년 말부터 약 2년에 걸쳐 네온 생산의 완전 국산화를 추진해 왔으며, 제철 공정용 가스 생산에 사용 중인 대형 공기분리장치를 활용해 광양제철소 산소공장과 TEMC의 기술력을 기반으로 국내 최초의 네온 생산 설비를 자체 개발했다. 또 이를 통해 추출한 네온을 TEMC가 독자 기술로 정제한 후 완제품인 엑시머 레이저 가스까지 생산하는 전 공정 국산화에 성공했다.

이번에 준공한 설비는 고순도 네온 기준 연간 약 2만2000N㎥(노멀 입방미터)를 생산할 수 있으며, 이는 국내 수요의 16%가량을 충족할 것으로 예상된다.

또 이를통해 포스코는 기존 설비와 TEMC의 기술력을 활용해 네온 생산 설비 및 공급 체계를 새롭게 갖췄으며, TEMC는 성공적인 과제 수행에 대한 인센티브로 초기 투자금을 모두 보상받고 포스코에서 생산되는 네온의 장기 구매권을 확보하게 됐다.

유병옥 포스코 산업가스·수소사업부장은 "국내 강소기업인 TEMC와 협력하여 산업가스 시장의 숙원 과제였던 네온의 완전한 국산화를 이뤄내 매우 뜻깊게 생각한다"며 "강소기업과 상생하는 ESG경영을 통해 희귀가스의 기술적 해외 의존도를 완전히 해소하고 국내 공급망 안정화에도 기여할 수 있게 됐다"고 말했다.

이상현기자 ishsy@dt.co.kr