サーモバック、黒鉛化炉·純化炉など超高温装備の技術を開発

真空炉専門企業であるサーモバック社は二次電池、電気自動車、太陽光などの先端産業分野で高品位黒鉛材料のグローバル需要が急増することに伴い、2500℃以上の超高温領域で材料形態に応じて最適に対応できる多様な形態の超高温炉を継続的に開発している。

黒鉛化処理に関しては、材料特性の高度化競争が熾烈になり、既存の量産工程である2700~2800℃以上の高温が要求されていることから、安定して3000℃量産工程を適用できる抵抗加熱方式の超高温真空炉を開発し、カーボン触媒製造企業であるＴ社に供給した。従来は、2800℃以上の場合、抵抗加熱式とすればヒーターの消耗が激しいため、誘導加熱方式で装置を製作してきたが、誘導電源装置のコストが過大で、加熱室内の温度分布が良くない限界があった。サーモバック社は、今回カーボンヒーター自体の温度を最大限下げることに成功することで、ヒーターの寿命を安定的に維持できる3000℃抵抗加熱炉の水準を確立することになった。

一方、サーモバック社は加熱室と冷却室を分離した2室型黒鉛化炉を開発し、独自に2年余り黒鉛化工程を試験しながら補完作業を通じて装備の耐久性と安定性を確保することで、2022年上半期から事業化モデルとして発売することになる。当該2室型黒鉛化炉は、加熱室を常時800℃~2400℃に保ちながら製品を加熱した後、冷却室に移送して急冷を行うため、従来2~3日かかったプロセスサイクルを1日以内に短縮しながら電気消費量も60％以下に下げることができる。

その他、高純化処理に関し、サーモバック社は純化炉の形式を水平型と垂直型に多様化しつつ、黒鉛構造材の他に黒鉛繊維、フェルトなど多様な黒鉛製品に適合するように、装置形式とともに純化工程も並行して開発している。

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출처:ThermVac

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