[2021 이달의 산업기술상]배준호 코스텍시스템 대표 "웨이퍼 이송장비 및 핵심 부품 기술 개발"

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배준호 코스텍시스템 대표(사진)는 반도체 제조 공정용 웨이퍼 이송장비 및 핵심 부품 기술을 개발했다.

이 가운데 진공챔버에서 이동 가능한 쿼드 암(Quad Arm) 진공 로봇 및 리니어 트랙 기술은 원가를 절감하면서도 생산성을 약 20% 높이는 혁신 기술로 평가됐다.

또 장비프론트엔드모듈(EFEM) 및 로드포트모듈(LPM)에서 질소(N2) 퍼지 재생 순환 기술은 반도체 웨이퍼상 산화 방지 기능을 한층 강화했다.

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