산학협력 '반도체공정 진단 연구소' 운영

첨단기술 핵심인력 지속 배출

연구중심 대학을 지향하는 명지대학교는 학내 대표 연구소인 ‘반도체공정 진단 연구소’를 운영하고 있다.

반도체공정 진단 연구소는 명지대의 반도체 기술과 IT응용기술을 융합해 최첨단 반도체를 제조하기 위해 2010년 설립됐다. 홍상진 전자공학과 교수의 지도하에 운영되고 있으며 최첨단 반도체의 선행공정관리 및 생산관리를 선도하고 산학협력을 통한 반도체산업의 핵심인력을 양성하는 것을 목표로 한다.

연구소는 그동안 45명의 석·박사 졸업생을 배출했다. 현재 7명의 박사과정과 16명의 석사과정, 5명의 4학년 학부생들이 연구하고 있다. 과학기술인용색인(SCI)급 논문을 43편 발표했으며 123억원의 R&D 사업비를 수주하는 등 반도체 업계에서도 실적을 내고있다.

이를 인정받아 지난해에는 과학기술정보통신부와 한국연구재단이 주관한 ‘제1회 건강한 연구실 포상 사업’에 선정되기도 했다. 연구소는 장관상을 수상하고 1000만원의 포상금 및 인증마크를 부상으로 받았다.

건강한 연구실 포상은 국내 대학에 소속된 과학기술계 연구실을 대상으로 2020년에 최초로 시행됐다. 명지대 반도체 공정 진단 연구소는 활발한 산학 협력을 통해 학생들의 취업 및 진로 지도에 집중하고, 다양한 전공 출신이 어우러진 자유로운 연구실 문화를 정착시켰다는 점에서 긍정적인 평가를 받았다.

업계에서는 반도체 공정을 실시간으로 모니터링하고 분석하는 진단 기술을 강화해야 한다는 목소리가 나온다. 국내 반도체산업은 반도체 공정기술에 있어 세계 최고 수준이지만 반도체 제조에 대한 실시간 진단 및 제어기술은 상대적으로 취약하고 인식이 부족하다는 이유에서다. 연구소는 보완이 필요한 진단 및 점검 분야를 강화하기 위해 연구에 매진하고 있다.

연구소는 일본 도호쿠대 유체과학연구소와 협력하고 있다. 2004년 양해각서(MOU)를 체결해 인적교류를 통해 해외 기술을 도입하고 플라즈마 진단기술에 대한 전문성을 키우고 있다. 이외에도 대학 내 정보공학과 디지털정보연구실과 컨소시엄을 구성해 연구를 수행하고 있으며 반도체 공정과 실시간 데이터의 정보처리에 대한 기술적 교류를 하고 있다.

최다은 기자 max@hankyung.com

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