렘테크놀러지, 초고순도 불화수소 개발

용인시 양지면 렘테크놀러지 사옥. 사진=렘테크놀러지 제공

[파이낸셜뉴스] 램테크놀러지가 지난 10월 초고순도 불화수소(HF) 생산기술을 개발 완료하고 특허를 취득했다.

이번에 렘테크놀러지가 개발한 초고순도 불화수소 생산기술은 기존방식과는 다르게 한번에 액체와 기체형태의 초고순도 불화수소를 동시에 생산이 가능한 것이 특징이다.

또한 기존의 방식은 형석을 가지고 증류법, 전기 분해법, 흡착법, 그리고 막분리법 등의 다양한 정제 공정을 통해야했지만 이런 전처리과정이 생략된다.

이 불화수소는 불소 화합물 중에서 가장 보편적으로 생산되고 있으며 무수 형태인 불화수소 및 초순수가 포함된 수용액 상태인 불산 상태로 공급된다.

공업용 불산과 같은 저순도 불산은 공업 용도로서 사용되고 있으며 반도체와 디스플레이의 식각 및 세정 용도에서는 초고순도의 불산이 필요하다. 반도체 제조 공정용 불산에 불순물이 존재하게 되면 식각 및 세정 시 웨이퍼에 잔류해 패턴형성 결함 발생의 원인이 되어 반도체 생산 수율을 저하시킨다.