램테크놀러지 "초고순도 불화수소 생산 정제방법·장치 개발"

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반도체 소재 기업인 램테크놀러지는 지난 10월1일 초고순도 불화수소 생산을 위한 정제방법 및 장치개발 관련 특허를 등록했다고 22일 밝혔다.

기존에는 형석을 가지고 증류법, 전기 분해법, 흡착법, 막분리법 등 여러 정제 공정을 통했다.

이번에 개발한 생산방식은 이같은 전처리 공정이 생략된다.

회사측은 "정제 공정을 간소화해 경제적, 효율적으로 초고순도 불화수소를 생산할 것으로 기대한다"고 설명했다.

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