[미래기술25]"정부, EUV 소부장 내재화의 마중물 역할해야"

[미래기술25-극자외선(EUV)공정]③
안진호 한양대 신소재공학부 교수 인터뷰
"EUV생태계 확장이 곧 EUV 공정 효율성 높이는 길"
"장기적 관점 탄소중립 정책..기업 피드백 중요"

[이데일리 배진솔 기자] “EUV(극자외선) 생태계를 꾸리기 위해서는 정부가 반도체 공정 효율화 자체를 장기적 관점의 탄소 중립으로 시야를 확대할 필요가 있습니다. 소재·부품·장비(소부장) 산업이 반도체 산업과 국가 안보에 중요하다는 인식을 가지고 관련 규제나 지원정책을 펼쳐야 합니다.”

안진호(사진) 한양대학교 신소재공학부 교수는 8일 이데일리와의 인터뷰에서 “EUV 장비를 제대로 돌리기 위해 필요한 특정 소재·부품·장비(소부장)들이 있다. 단순히 사서 쓰는 것이 아니라 공급 기업과 동맹을 맺어 자기 용도에 맞는 소부장 생태계를 꾸려가는 것이 중요하다”며 이같이 말했습니다.

안진호 교수는 EUV 생태계 확장을 위해서는 정부와 기업의 도움이 필요하다고 했습니다. 안 교수는 “정부에서 일본 수출 규제 이후 소부장 기업에 유례없는 R&D(연구개발)지원을 하고 있다”며 “지원에 힘입어 삼성전자 등 기업들이 에프엔에스텍, 동진세미켐 등 본인들이 필요한 소재를 공급하는 기업에 투자하고 그 소재를 사다 쓰는 선순환이 일어나고 있다”고 말했습니다. 그러면서 “정부의 지원과 기업의 투자가 없었으면 국내 기업이 서플라이체인(공급망)을 형성할 가능성이 거의 없었을 텐데, 지금은 넘볼 수 있는 상황이 됐다”고 덧붙였습니다.

안 교수는 “한동안 탄소중립 ‘0’ 달성을 위해 소부장 지원사업 예산을 동결시킨다는 얘기가 있었다”며 우려의 목소리를 내기도 했습니다. 이어 “탄소중립을 작은 범위에서 보느냐, 큰 범위에서 보느냐 인식이 달라질 수 있다. 빡빡하게 보자면 직접 효과가 나타나는 규제에 초점을 맞출 수 있지만 장기적 관점에서는 반도체 공정 효율화도 탄소중립에 도움이 된다”고 강조했습니다. 초미세 공정을 활용한 고성능 차세대 반도체는 궁극적으로 전력과 이산화탄소를 줄이는 친환경 기술이라는 것입니다.

그러면서 “정부에서 도와주는 건 마중물이다. 소부장 공급 기업이 최종적으로 개발한 제품에 대한 성능 평가는 최종 수요 기업이 해주는 것”이라며 “기업들은 소부장 공급업체의 개발 제품을 필드에 적용했을 때 어떤지 성능을 평가하고 피드백을 줘야 한다. 그걸 알아야 개발에 박차를 가할 수 있다”고 강조했습니다.

안진호 교수는 구체적으로 펠리클, 포토레지스트, EUV 마스크 등을 언급하며 “EUV 장비를 들여와도 장비의 퍼포먼스는 소재에 따라 많이 좌우된다”며 “(위에 언급한) 소재·부품들은 각자 상호 보완관계에 놓여 있어 수율에 큰 영향을 준다”고 설명했습니다. 안 교수는 “결국 현재 EUV장비를 도입해도 관련 생태계를 조성하지 못하면 어려움에 봉착할 수밖에 없다”며 “공급 벤더들과 파트너십을 강화해 기업이 필요한 시점에 필요한 소재를 공급받을 수 있도록 해야 한다”고 말했습니다.

배진솔 (sincere1@edaily.co.kr)