글로벌 장비업계 '큰손'들도 韓 투자 확대

ASML, 화성에 2400억 들여
대규모 교육훈련센터 짓기로
램리서치, 국내생산 물량 두 배로

글로벌 반도체 장비업계의 ‘큰손’인 ASML과 램리서치가 한국에 투자를 확대한다. 국내 반도체 생태계의 성장 잠재력이 크다는 판단에 따른 것이다.

ASML코리아와 산업통상자원부, 경기도, KOTRA 등 4개 기관은 13일 삼성전자 경기 평택 사업장에서 ‘반도체 생태계 강화 연대·협력 협약’을 맺었다. ASML은 이날 협약식에서 경기 화성에 2400억원을 투자해 대규모 교육훈련센터를 짓겠다고 발표했다. 이에 대해 산업부와 경기도 등은 인허가를 지원하는 등 투자와 관련한 애로사항을 해소하는 데 힘쓰겠다고 했다. 업계 관계자는 “극자외선(EUV) 노광장비와 같은 분야는 국내 업체들이 단기간에 따라잡는 게 불가능한 분야”라며 “국내 반도체 생태계를 강화하려면 ASML과 같은 글로벌 기업의 협조가 필요하다”고 말했다.

네덜란드 기업인 ASML은 협력업체임에도 불구하고 반도체업계에선 ‘슈퍼 갑(甲)’으로 통한다. ASML의 EUV 노광장비가 없으면 고사양 반도체 제작이 사실상 불가능하기 때문이다. 이 장비의 가격은 대당 1500억원 선이다. 주문은 2년 가까이 밀려 있다. 삼성전자를 비롯한 글로벌 반도체 제조사들이 ASML을 각별히 챙기는 배경이다. 이재용 삼성전자 부회장이 지난해 10월 ASML 네덜란드 본사를 방문한 것도 EUV 장비를 확보하기 위해서였다. 현재 세계 1위 파운드리(반도체 수탁생산) 업체 TSMC는 50대, 삼성전자는 10대 안팎의 EUV 장비를 보유 중인 것으로 알려졌다.

세계 3위 반도체 장비업체인 미국의 램리서치도 국내 투자를 확대할 계획이다. 한국에서의 생산 물량을 두 배로 늘린다는 목표를 세우고, 사업장을 지을 부지를 물색하고 있는 것으로 전해졌다. 램리서치는 반도체 웨이퍼에 회로를 그린 뒤 불필요한 부분을 깎아내는 식각 장비 분야에서 선두를 달리고 있다.

업계에서는 글로벌 반도체 장비 업체가 국내 투자를 지속적으로 확대할 것으로 보고 있다. 주요 고객사인 삼성전자와 SK하이닉스가 공격적으로 설비를 늘리고 있어서다. 삼성전자는 생산라인 건설을 위해 2030년까지 총 171조원을 투자하겠다고 밝힌 상태다. SK하이닉스도 경기 용인에 협력업체와 함께 입주할 반도체 클러스터를 구축하고 있다.

송형석 기자 click@hankyung.com

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