날개단 '초미세공정'.. 하반기 D램 양산체제

SK하이닉스 M16 공장 준공
'EUV' 노광 장비 도입 시설
3조원 투입해 25개월만 준공
반도체 미세회로 패턴,성능↑
최회장"용인클러스터 출발점"

1일 경기도 이천 SK하이닉스 M16 공장 준공식에 참석한 최태원 SK그룹 회장이 인사말을 하고 있다. <SK하이닉스 제공>

1일 경기도 이천 SK하이닉스 M16 공장 준공식에 참석한 최태원(가운데) SK그룹 회장을 비롯해 회사 관계자들이 기념사진을 찍고 있다. <SK하이닉스 제공>

[디지털타임스 박정일 기자] SK하이닉스가 'M16' 공장을 준공하고 EUV(극자외선) 미세공정을 적용한 차세대 D램 반도체 생산에 나선다. 최태원 SK그룹 회장은 "과감한 결단이 더 큰 미래를 꿈꿀 수 있게 해줬다"며, 이번 준공이 용인 클러스터로 이어지는 중요한 출발점이 될 것이라고 의미를 부여했다.

SK하이닉스는 1일 경기도 이천 본사에서 최 회장을 비롯해 최재원 수석부회장, 조대식 SK수펙스추구협의회 의장, 박정호 SK하이닉스 부회장, 장동현 SK㈜ 사장, 이석희 SK하이닉스 대표이사 사장, 하영구 선임사외이사 등 핵심 인사 16명이 참석한 가운데 M16 준공식을 열었다.

'We Do Technology 행복을 열다'는 주제로 열린 이날 준공식에서 최태원 회장은 "반도체 경기가 하락세를 그리던 2년 전 우리가 M16을 짓는다고 했을 때 우려의 목소리가 컸다"며 "하지만 이제 반도체 업사이클 얘기가 나오고 있는 만큼 어려운 시기에 내린 과감한 결단이 더 큰 미래를 꿈꿀 수 있게 해줬다"고 말했다.

이어 "M16은 그동안 회사가 그려온 큰 계획의 완성이자 앞으로 용인 클러스터로 이어지는 출발점으로서 중요한 상징으로 남을 것"이라고 덧붙였다.

최 회장은 또 "M16의 탄생 과정에서 수많은 사람들의 도움이 있었던 만큼, 이제 M16이 그분들의 행복에 기여할 것"이라며 "경제적 가치뿐만 아니라 협력회사 상생, 환경보호, 지역사회 발전 등 ESG 측면에서도 다양한 가능성을 모색해 달라"고 당부했다.

SK하이닉스는 2018년 11월 M16 착공 이후 총 3조5000억원, 연인원 334만명을 투입해 25개월 만에 준공했다. 주로 D램 제품을 생산하게 될 M16은 SK하이닉스가 국내외에 보유한 생산 시설 중 최대 규모를 자랑한다. 건축면적이 5만7000㎡로 축구장 8개 크기이며 길이 336m, 폭 163m, 높이는 아파트 37층에 달하는 105m로 조성됐다.

M16 공장은 SK하이닉스 최초로 EUV 노광 장비가 도입된다. M16에는 올해 EUV 장비 2대가 설치될 것으로 알려졌다.

EUV 공정은 반도체 포토 공정에서 극자외선 파장의 광원을 사용하는 것으로, 기존 불화아르곤(ArF)의 광원보다 파장의 길이가 짧아(10분의 1 미만) 반도체에 미세 회로 패턴을 구현할 때 유리하고 성능과 생산성도 높일 수 있다.

삼성전자가 업계 최초로 지난 3월 EUV를 적용한 D램 양산에 성공했고, SK하이닉스는 공정 안정화 단계 등을 거친 뒤 올 하반기부터 4세대 10나노급(1a) D램 제품을 생산할 것으로 예상된다.

SK하이닉스는 M16 라인 준공으로 당초 계획보다 3년 앞당겨 46조원 규모의 투자를 완료했다. 회사는 지난 2015년 M14 공장 준공식 당시 오는 2024년까지 M14외에 국내외 2개의 반도체 공장을 더 구축하고, 총 46조원을 투자하겠다고 밝힌 바 있다.

한편 SK하이닉스는 오는 2022년부터 경기도 용인 반도체 클러스터 조성 사업에 120조원을 투자하겠다고 발표한 바 있으며, 최근 10조원을 투자해 인텔의 낸드 사업부문을 인수하는 등 D램 의존도가 높았던 사업 포트폴리오를 다각화하기 위한 공격적인 투자행보를 이어가고 있다.

박정일·김위수기자 comja77@dt.co.kr