나노종기원, 반도체 공정 진단 광센서 핵심부품 국산화

광진단 센서(SM445) 및 시스템© 뉴스1

(대전=뉴스1) 심영석 기자 = 나노종합기술원(이하 나노종기원)은 코리아스펙트랄 프로덕츠㈜(이하 KSP)와 공동연구를 통해 ‘반도체 공정 진단 광센서 핵심 부품’ 기술 국산화에 성공했다고 1일 밝혔다.

광 진단센서(Optical Diagnostic Sensor)는 반도체 제조 공정 중 사용되거나 배출되는 가스들에 의해 나타나는 빛의 발광 혹은 흡수 스펙트럼을 분석한다.

이를 통해 제조 장비 상태와 공정 이상 등을 실시간 비접촉식 방법으로 진단할 수 있는 핵심 부품이다.

이번 개발제품은 높은 측정 정밀도 특성은 물론, 차세대 반도체의 높은 품질 유지와 수율 확보에 필수적인 스마트 공정 제어기능을 갖췄다.

그간 미국 등 해외 수입에 의존하던 반도체 장비용 센서 부품의 국산 대체가 가능해질 전망이다.

이번에 개발된 제품은 지난해 12월 국내 반도체 생산라인 장비에 설치돼 시험평가가 진행 중이며, 올해부터 본격 상용화에 들어가게 된다.

km5030@news1.kr