SK하이닉스 "EUV 도입 계획 중..1a 나노부터 첫 적용"

SK하이닉스는 29일 지난해 4분기 실적발표 후 컨퍼런스 콜(전화회의)에서 "당사는 수년전부터 EUV 도입을 계획 중"이라면서 "기존 EUV 장비를 확보하고 있으며 당사 개발 양산계획에 따른 EUV 확보 방안에 대해 벤더와 긴밀이 협업하고 있다. 1a 나노미터부터 첫 적용할 것"이라고 밝혔다.

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이정혁 기자 utopia@mt.co.kr

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