韩国真空炉开发企业ThermVac扩大对中国出口陶瓷CVD设备
이 글자크기로 변경됩니다.
(예시) 가장 빠른 뉴스가 있고 다양한 정보, 쌍방향 소통이 숨쉬는 다음뉴스를 만나보세요. 다음뉴스는 국내외 주요이슈와 실시간 속보, 문화생활 및 다양한 분야의 뉴스를 입체적으로 전달하고 있습니다.
韩国真空炉开发企业ThermVac(森派克)发布消息称,该公司于去年10月交付给中国某企业化学气相沉积(TaC CVD)设备已经完成调试工作,并开始生产镀膜产品。
ThermVac交付的TaC CVD设备可在最高温度2400度下,使TaCl5粉末蒸气与CH4气体发生反应,并将合成的TaC成分以薄膜形式沉积到石墨产品表面。该设备由真空炉主机、供电装置、真空排气装置、工艺气体控制装置、尾气处理湿式洗涤集尘装置(Scrubber)和动力供给装置组成。
通过该设备生产的TaC镀膜石墨产品为超过2000度的高温工艺中所使用的产品,例如SiC单晶生长所需的坩埚等。在超过2000度的超高温下,镀膜也不会受损,防止石墨产生的碳尘污染。
2011年,ThermVac在韩国政府的技术开发支持项目中执行了SiC CVD Pilot设备国产化开发课题,在陶瓷CVD设备行业迈出了第一步。在两年的课题开发期内,获得了CVD设备的要素技术,成功完成课题开发。随着金属有机化学气相沉积法(MOCVD)的石墨承载盘(Susceptor)等SiC镀膜产品的需求不断增加,THERMVAC与海外CVD设备企业展开激烈竞争,向韩国国内市场提供各种CVD设备。
ThermVac向韩国陶瓷技术院和国防科技院提供用于研发的SiC、HfC、TaC CVD装置,并向全南高科园公用设备室、KNJ、S公司、大洋产业、DACC Carbon、日本碳素公司的韩国法人T公司等企业提供用于生产的SiC CVD、TaC CVD和Pyro Carbon CVI。
ThermVac继2017年向中国某公司出口了产品装载空间为1200Φ*1800H ㎜的大型SiC CVD设备以来,再次出口TaC CVD设备,积极瞄准中国市场。
ThermVac计划以公司所拥有的2400度超高温Pilot CVD设备为依托,积累陶瓷CVD工艺技术,并与欧美和日本的领先CVD企业展开竞争,向包括材料零部件的巨大市场中国和日本在内的全球市场扩大出口CVD设备。
이 뉴스는 기업·기관·단체가 뉴스와이어를 통해 배포한 보도자료입니다.
출처:ThermVac
보도자료 통신사 뉴스와이어(www.newswire.co.kr) 배포
Copyright © 뉴스와이어. 무단전재 및 재배포 금지.
- 한화그룹 김승연 회장, 한화금융계열사 찾아 ‘그레이트 챌린저’ 주문 - 뉴스와이어
- 제네시스, GV70 부분변경 모델 디자인 공개 - 뉴스와이어
- 2024 고양국제꽃박람회, 일산 호수공원에서 대규모 확장 개최 - 뉴스와이어
- 대한항공, 7월 1일부터 인천~마카오 신규 취항 - 뉴스와이어
- 보쉬, 하노버 산업 박람회 2024서 공장 자동화·수소 경제·AI 위한 지속가능한 솔루션 제시… 지속
- 좋은땅출판사, 시집 ‘유럽의 시골길은 숨바꼭질을 좋아한다’ 출간 - 뉴스와이어
- 문예출판사, 데이트 폭력에 대한 입체적인 분석과 통찰 담은 ‘네 잘못이 아니야’ 출간 - 뉴스
- 취향에 따라 골라먹는 국민간식 ‘정관장 사색양갱’ 출시 - 뉴스와이어
- 넥센타이어, 현대 N 페스티벌 모터스포츠 대회에 공식 타이어 공급 - 뉴스와이어
- ‘나보타 10년’ 대웅제약의 도전, 2030년엔 매출 5000억원 목표 - 뉴스와이어