주성엔지니어링, 반도체증착 기술부문 '소부장 으뜸기업' 선정

'세계 최초' 대면적 ALD 증착기술 양산, 고효율 태양광 핵심 기술

주성엔지니어링 시공간분할 시스템. (주성엔지니어링 제공) © 뉴스1

(서울=뉴스1) 윤다정 기자 = 주성엔지니어링이 산업통상자원부가 선정하는 '소부장(소재·부품·장비) 으뜸기업' 반도체 증착 부품·장비 제조기술 핵심전략기술 부문에 선정됐다.

특히 주성엔지니어링이 세계 최초로 양산화한 대면적 ALD 증착기술은 향후 35% 이상 고효율 태양광 시장을 확대하는데 매우 중요한 기술로 평가된다. 조 바이든 미국 대통령 당선인은 4년간 2조달러를 그린뉴딜 분야에 투자하고 태양광 패널 5억개 설치를 약속했다.

산업통상자원부는 11일 세종컨벤션센터에서 개최한 '소부장 으뜸기업 비전 선포식'을 개최하고 '소부장 으뜸기업' 22곳을 처음 선정해 발표했다. 산업부는 오는 2024년까지 모두 100곳의 소부장 으뜸기업을 선정·지원할 계획이다.

소부장 으뜸기업은 국내 주력산업과 미래 신산업 분야 공급망 구축에 필수적인 기술 부문에서 국내 최고 기술력과 미래 성장 잠재력을 가진 기업을 선정해 지원·육성하는 정부 프로그램이다.

주성엔지니어링은 차세대 반도체 핵심공정의 최적 솔루션인 '시공간분할 ALD 증착장비' 기술 개발을 완료했으며, 이를 인정받아 소부장 으뜸기업으로 선정됐다.

해당 기술은 기판 위에 화학물질을 이용해 원자층 단위로 박막을 증착하는 기술이다. 시공간분할의 독자적인 가스 분사 시스템과 LSP(Local Space Plasma) 기술을 접목했다. 이에 따라 고품질의 박막 증착이 가능할 뿐만 아니라 계면 특성을 개선하는 등 차세대 반도체 공정 기술의 요구에 적합하도록 개발됐다.

주성엔지니어링은 해당 기술이 반도체 산업의 메모리 분야뿐만 아니라 비메모리까지 모든 차세대 공정 변화에 선제적으로 대응 가능할 것으로 기대하고 있다. 또한 해당 기술이 향후 차세대 디스플레이 및 35% 이상 고효율 태양광 등 다앙한 분야에 확대 적용될 것으로 전망하고 있다.

특히 주성엔지니어링이 태양광 효율을 획기적으로 높여주는 기술을 확보한 만큼 수백조원 이상 급증할 것으로 전망되는 미국 태양광 시장을 선점할 유리한 고지에 올랐다는 평가다.

주성엔지니어링 관계자는 "지난해 초 완공된 용인 R&D센터를 통해 세계적인 반도체 장비회사가 되기 위한 기반을 조성했다"며 "앞으로도 공정 및 하드웨어 혁신을 통해 빠르게 변화하는 반도체, 디스플레이, 태양광 산업에서 높은 경쟁력을 유지하며 미래 시장을 선점할 것"이라고 밝혔다.

한편 1993년 설립된 주성엔지니어링은 반도체, 디스플레이, 태양광 핵심 전 공정 장비를 국산화하는데 성공했다. 매년 전체 매출액의 15~20%를 R&D에 투자하는데 더해 전체 임직원의 약 65% 이상이 R&D에 종사하고 있으며, 누적 특허 건수는 2100개 이상이다.

maum@news1.kr