듀폰, 천안공장 증설해 EUV 포토레지스트 등 생산추진

8일 KOTRA에 2천8백만달러 투자신고서 제출

[아이뉴스24 최상국 기자] 미국의 글로벌 화학소재 기업인 듀폰이 반도체 EUV용 포토레지스트 등 반도체 소재·부품 생산확대를 위해 한국에 추가 투자하기로 했다.

산업통상자원부는 8일 저녁(현지시간) 미국 샌프란시스코 포시즌스 호텔에서 성윤모 장관, 듀폰社의 존 켐프(Jon D. Kemp) 사장, 장상현 KOTRA 인베스트 코리아 대표가 참석한 가운데 듀폰이 천안 공장에서 EUV(극자외선) 포토레지스트 등을 개발·생산하기 위한 2천8백만달러의 투자신고서 제출 행사를 가졌다고 밝혔다.

존 켐프(Jon Kemp) 듀폰 전자·이미징 사업부 사장이 장상현 코트라 Invest Korea 대표에게 투자신고서를 제출하는 행사가 성윤모 산업통상자원부 장관이 참석한 가운데 8일(현지시간) 저녁 샌프란시스코 포시즌스호텔에서 열렸다.[산업통상자원부]

듀폰社는 이번 투자를 통해 내년까지 충남 천안에 EUV용 포토레지스트와 CMP패드 개발·생산 시설을 구축할 계획이다.

EUV용 포토레지스트는 일본의 대한 수출규제 3개 품목 중 하나로 반도체 웨이퍼위에 패턴을 형성하는 포토 리소그래피 공정에서 사용되는 감광성 재료다.

듀폰은 한국내 자회사인 롬엔드하스전자재료코리아(유) 천안 공장에서 지난 98년부터 KrF(불화크립톤) 포토레지스트, ArF(불화아르곤) 포토레지스트 등 반도체 회로기판용 소재·부품을 생산해 왔으며 반도체 극소형화에 필요한 EUV용 포토레지스트 시장이 성장함에 따라 이에 대응하기 위해 한국에 추가로 투자하기로 했다.

또한 CMP(Chemical-Mechanical Planarization) 패드는 반도체 웨이퍼 표면을 화학적, 기계적 방법으로 연마하여 평탄화하는 과정에 사용되는 패드로 듀폰이 세계시장의 80% 이상을 점유하고 있는 제품이다.

산업부는 지난해 7월 일본 정부의 수출규제 조치 이후 핵심 소재·부품·장비에 대한 공급 안정화를 위해 듀폰社와 직접 접촉해 투자유치를 협의했으며, 듀폰이 최종 투자처로 한국을 최종 확정함에 따라 향후 투자과정이 차질 없이 이뤄지도록 지원할 계획이라고 밝혔다.

듀폰이 EUV 포토레지스트를 포함해 한국 내에서의 반도체 소재·부품 생산을 확대함에 따라 현재 일본에 의존하고 있는 관련 품목의 공급선 다변화에 기여할 것으로 기대된다.

산업부는 존 켐프 듀폰 사장이 투자신고서를 제출하는 자리에서 “EUV용 포토레지스트 개발·생산을 위해 앞으로 한국 내 주요 수요업체와 제품 실증테스트를 진행하는 등 긴밀히 협력해 나갈 계획”이라고 밝혔다고 전했다.

성윤모 장관은 “최근 일본 정부가 EUV용 포토레지스트를 개별허가에서 특정포괄허가로 변경하는 등 수출규제 조치 해결에 일부 진전이 있었지만, 근본적인 해결방안으로 보기는 어려우며, 정부는 핵심 소재·부품·장비에 대한 기술경쟁력 확보와 공급선 다변화를 계속해서 추진해 나갈 것”이라고 강조했다.

한편 성윤모 장관은 9일 오전(현지시간) 한국투자에 관심을 갖고 있는 미국 투자가들을 대상으로 라운드테이블 회의를 개최, 對韓 투자유치활동을 펼쳤다. 회의에는 램리서치·어플라이드벤처스(반도체장비), 리틀휴즈(시스템반도체), 보그워너(車부품), 에어프로덕츠·고어(수소경제), 프린시플파워(풍력발전), SST와이어리스(IoT센서), 피스컬노트(빅데이터 분석), 알토스벤처스(벤처캐피탈) 등 10개 기업이 참석했다.

최상국기자 skchoi@inews24.com

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