반도체 장비안전 국제표준 'SEMI S2' 한글본 발간

국제반도체장비재료협회(SEMI)는 반도체 생산장비 안전표준인 ‘SEMI S2’ 4건의 한글 번역본을 발간했다고 5일 밝혔다.

이번 번역은 지난 1월 발간한 4건의 한글화 작업에 이은 추가 발간이다. △SEMI S6-0707E 반도체 제조장비 배출환기 가이드라인 △SEMI S10-0215 위험성 평가 및 위험성 검토 절차 안전 가이드라인 △SEMI S14-0309 반도체 제조 장비의 화재 위험성 평가 및 완화 안전 가이드라인 △SEMI S21-1106E(Reapproved 0612) 작업자 안전 가이드라인이다.

반도체 장비는 화학물질과 전리방사선 등 때문에 작은 실수나 고장으로도 심각한 인명사고를 유발할 수 있어 설계, 제작 단계부터 엄격한 관리가 필요하다. 기업은 안전관리 조직을 만들고 안전경영을 강화하는 등 안전 관련 투자를 아끼지 않고 있다.

SEMI는 영어로 표기된 SEMI S2 표준을 한글화해 지난해부터 업계 활용도가 높은 표준을 단계적으로 번역해 제공하고 있다. 또 S2 표준 관련 교육도 진행한다.

배옥진기자 withok@etnews.com