토소에스엠디, 450mm 웨이퍼용 스퍼터링 타깃 투자 확대

토소에스엠디코리아(대표 송춘섭)는 미국 오하이오 공장에 450㎜ 반도체 웨이퍼 공정용 스퍼터링 타깃 개발·양산 투자를 단행한다고 5일 밝혔다. 정확한 금액은 밝히지 않았지만 연구개발(R&D) 시설, 타깃 제조 시설, 물리적 기상화학증착장비(PVD) 설비에 투자할 예정이다.

반도체 PVD용 스퍼터링 타깃 시장은 미국 하니웰, 프락스에어, 일본 토소코퍼레이션 계열사인 토소에스엠디 등 서너 개 업체가 장악한 분야다. 경쟁사보다 앞서 450㎜ 소재에 투자해 시장을 선점한다는 목표다.

토소에스엠디코리아는 미국 본사로부터 타깃을 들여와 국내 경기도 평택 공장에서 재가공해 삼성전자·SK하이닉스 등에 공급하고 있다.