반도체 증설 붐 노리는 센코…적외선 가스센서 기술 개발

가스센서 및 산업용 가스감지기 전문기업 센코가 국내외 반도체 시장 공략을 위해 기존 전기화학식 가스센서에 더해 적외선(NDIR) 기반의 가스센서 기술을 새롭게 개발했다고 3일 밝혔다.

반도체 제조공정에선 약 100여 종에 이르는 다양한 가스가 사용된다. 공정장비와 유틸리티 설비에서 발생하는 간섭 가스(Interference Gas)로 인해 기존 센서가 오작동하는 문제가 꾸준히 제기되어 왔다.

센코는 이러한 문제를 해결하기 위해 새로운 구조의 전기화학식 센서뿐 아니라 적외선 기반 가스센서 기술을 함께 개발해 간섭에 의한 오작동을 최소화하는 연구를 지속해왔다.

최근 센코는 개발된 적외선 가스센서를 국내 주요 반도체 기업의 팹(fab) 및 글로벌 주요 고객사에 설치해 실제 공정 환경에서 성능 평가(Qualification) 를 진행 중이다. 현재 이 센서는 국내 양대 반도체 기업뿐 아니라 대만 TSMC, 중국 화웨이, BOE 등의 반도체 제조라인에도 적용되어 기술 검증이 이뤄지고 있다.

하승철 센코 대표이사는 “글로벌 반도체 기업들로부터 적외선 기반 가스센서 기술이 높은 평가를 받고 있다”며 “고객의 오랜 문제를 해결할 수 있는 새로운 기술을 지속적으로 개발해, 급성장 중인 반도체 시장에서 점유율을 확대해 나가겠다”고 말했다.

황정환 기자 jung@hankyung.com