물속의 요소 실시간 분석 ‘반도체 초순수’ 품질 극대화

알앤에스사이언스

알앤에스사이언스(대표 이재희)가 반도체 생산공정에 사용되는 초순수에서 Urea(요소)를 실시간으로 분석하는 온라인 장치 UA-1001을 개발했다. 초미세 반도체 공정에서 수질의 작은 변화도 생산성과 품질에 큰 영향을 줄 수 있는 만큼, 이번 제품은 초순수 품질관리의 정밀도를 높이고 공정 이상에 신속하게 대응할 수 있는 새로운 관리수단으로 주목받고 있다.

반도체 생산설비 확대와 함께 초순수 사용량이 증가하면서 용수 확보를 위한 재이용수 활용도 늘고 있다. 이 과정에서 요소를 비롯한 저분자 유기물이 초순수 생산공정에 유입될 가능성이 커지고 있지만, 요소는 기존 역삼투압 공정만으로 제거하기 쉽지 않아, 농도가 높아질 경우 반도체 회로에 잔류하거나 침착돼 불량을 일으킬 가능성이 있어 실시간 감시기술의 필요성이 꾸준히 제기돼 왔다.

알앤에스사이언스는 기존 오프라인 분석방식으로는 변화하는 요소 농도에 즉각 대응하기 어렵다는 점에 주목해 수중 요소를 실시간 측정하기 위한 기반기술을 개발했다. 이를 적용한 UA-1001은 여러 유기물 중 요소를 선택적으로 분리하고, ppb 수준의 요소까지 실시간 확인할 수 있도록 설계됐다.

이재희 대표는 “UA-1001 개발은 시작에 불과하다”며 “지속적인 연구개발을 통해 대한민국 물 분석 기술의 경쟁력을 높이고 글로벌 시장에서도 인정받는 전문기업으로 성장해 나가겠다”고 밝혔다.