에이치엠넥스 자회사 SMI, 차세대 반도체 핵심부품 ‘광온도센서’ 국산화

[사진제공 = 에이치엠넥스]

에이치엠넥스는 자회사 에스엠아이가 차세대 반도체 공정의 핵심 부품으로 주목받는 광온도센서(Optical Temperature Sensor)를 국내 최초로 국산화하고, 마이크론 싱가포르 공장의 퀄테스트(Qualification Test)를 최종 통과했다고 8일 밝혔다.

에스엠아이는 지난해 8월부터 마이크론 싱가포르 공장에 광온도센서를 장착해 웨이퍼수율, 공정안정성등을 검증하는 테스트를 진행했으며 이달 최종 승인을 받은 것으로 확인됐다. 이번 승인으로 에스엠아이는 글로벌 반도체 양산 라인에 국산 광온도센서를 본격 공급할 수 있는 기반을 확보했다.

마이크론 싱가포르 공장의 광온도센서 월 사용량은 약 1200개 수준으로 추산된다. 회사 측은 2026년에는 월 사용량의 10%이상을 공급하고, 2027년 이후에는 50~60% 수준까지 수주가 확대될 것으로 전망하고 있다. 실제 수주 접수는 올해 1분기부터 시작될 것으로 예상된다.

광온도센서는 반도체 플라즈마 에칭 공정 챔버내에서 전기 신호 대신 빛의 특성 변화를 이용해 온도를 측정하는 정밀 센서로서 광섬유를 매개체로 사용해 ‘광섬유 온도센서’라고도 불린다.

센서 끝단에 특수 화학물질 배합물을 도포한 뒤 빛을 조사하여 형광 물질을 여과시킨 후, 형광 물질의 감쇄 시간 변화를 분석해 온도를 측정하는 방식이다. 기존의 열전대(Thermocouple)나 RTD 등 전기식 센서가 적용되기 어려운 강한 전자파, 고전압, 폭발위험 환경에서도 안정적으로 작동하며, 비접촉 방식으로 고온, 고전압, 회전, 진공 환경에 유리한 것이 특징이다