넥스틴, 20나노 결함 파악하는 반도체 DUV 검사 장비 '제니스' 개발

넥스틴이 심자외선(DUV) 기반 반도체 웨이퍼 초미세 결함을 검사하는 브라이트 필드 장비를 내년 출시한다. 기존 자외선(UV) 기반 다크필드 검사장비보다 고부가가치 제품으로 시장 진입 시 수익성 개선이 기대된다.

14일 업계에 따르면 넥스틴은 최근 DUV 브라이트 필드 장비명을 '제니스(GENiS)'로 확정했다. 내년 상반기 시제품 개발을 마치고 고객사 품질 평가에 들어간다.

반도체 검사·계측 장비는 조명 방식·광원에 따라 브라이트 필드와 다크 필드로 나뉜다.

넥스틴은 다크 필드 장비인 '이지스' 시리즈를 앞세워 세계 반도체 검사·계측 장비 점유율 5~10%를 기록하고 있는데, 브라이트 필드로 제품 저변을 확대하는 것이다.

브라이트 필드 장비는 UV보다 짧은 파장의 DUV를 사용하기에 해상도가 더 높고 20나노미터(㎚)대 수준의 미세 결함까지 검출할 수 있다. 30㎚대 다크필드 장비보다 고정밀 검사에 사용된다. 장비 가격은 2배 정도 높은 것으로 알려졌다.

반도체 제조사들은 웨이퍼 검사를 위해 두 종류 장비를 혼용하고 있는데 브라이드 필드 장비는 미세결함 검사 중요성이 큰 노광·식각 공정에서 주로 사용된다.

기술 장벽이 높은 만큼 현재 브라이드 필드 반도체 검사·계측 장비는 KLA, 어플라이드 머티어리얼즈가 주도하고 있다.

넥스틴 관계자는 “DUV 검사·계측 장비는 극소수의 업체가 주도하는 고부가가치 장비”라며 “내년 시제품을 기반으로 한국과 중국을 비롯한 해외 시장을 공략해 나갈 것”이라고 말했다.

박진형 기자 jin@etnews.com