KTL, 반도체 초순수입자 분석용 표준물질 2종 개발

기업의 반도체 초순수 국내외 시장 진출의 발판 마련

한국산업기술시험원(KTL)은 반도체 초순수(UPW, Ultra Pure Water) 입자 분석용 표준물질 2종을 개발해 우리 기업의 관련 국내외 시장 진출의 발판을 마련했다고 8일 밝혔다.

KTL 연구진이 초순수용 입자 표준물질에 대한 실험을 하고 있다. KTL 제공

KTL은 상용 표준물질 개발 및 보급 사업 관련 과제 수행기관으로 지정해 반도체 연마제로 쓰이는 초순수 입자 분석용 콜로이달 실리카(Colloidal Silica) 2종을 개발하고 KOLAS ISO 17034 표준물질로 등록을 완료하는 성과를 거뒀다.

KTL은 이를 바탕으로 입자의 크기별 개수를 감지하고 측정하는 초순수 입자 계수기 성능시험 및 정도검사를 추가로 진행할 예정이다.

이로써 일본과 미국이 주도하는 입자성 표준물질을 국내에서도 공급할 수 있을 것으로 기대된다. 이를 통해 시험 수수료 등 소요되는 경제적 비용을 절감할 뿐만 아니라 시험 일정을 매우 효과적으로 단축해 국내 기업에 실질적인 도움을 줄 계획이다.

KTL은 이에 발맞춰 세계 반도체 장비 및 재료 협회(SEMI) 활동을 통해 콜로이달 실리카 표준물질을 사용하는 평가법을 제안하는 등 국내에서 개발된 표준물질이 해외에서도 사용될 수 있도록 표준 개정 작업 중이다.

KTL 유동훈 수석연구원은 “국가 핵심기술인 반도체 공정에 사용하는 초순수용 입자 표준물질 개발은 반도체 기반 산업 구축의 초석”이라며 “초순수용 설비 수질 모니터링을 위한 표준화 및 국산과 외산의 비교 성능시험을 통해 우리나라 기술이 국내뿐만 아니라 세계에서도 경쟁할 수 있도록 최선의 노력을 다하겠다”고 밝혔다.

한편 KTL은 표준물질의 체계적인 관리와 원활한 보급 등을 위해 표준물질 종합정보시스템(i-RM, https://i-rm.kr)을 운영하고 있다.