KTL 초순수 입자 분석용 표준물질 2종 개발

외산 의존하던 입자성 표준물질 국내에서 공급 기대

한국산업기술시험원(KTL)은 반도체 초순수(UPW) 입자 분석용 표준물질 2종을 개발했다. /KTL

[더팩트ㅣ세종=박병립 기자] 한국산업기술시험원(KTL)은 반도체 초순수(UPW) 입자 분석용 표준물질 2종을 개발해 우리 기업의 관련 국내외 시장 진출의 발판을 마련했다고 8일 밝혔다.

초순수는 불순물이 거의 없는 상태를 유지해야 하는 최고 난이도의 수(水)처리 기술이 필요해 세계적으로 일부 선진국만이 이를 보유하고 있다.

KTL은 우리나라 반도체 기업은 반도체용 초순수의 생산·공급을 일본, 프랑스 등 해외기술에 의존하고 있어 수출규제 등 외부환경에 매우 취약하다고 전했다.

이에 정부(국가기술표준원)는 상용표준물질 개발 및 보급 사업을 통해 국가 핵심 산업 경쟁력을 강화하고 해외기술 의존도를 낮추는 작업을 진행 중이다.

KTL을 관련 과제 수행기관으로 지정해 반도체 연마제로 쓰이는 초순수 입자 분석용 콜로이달 실리카(Colloidal Silica) 2종을 개발하고 KOLAS ISO 17034 표준물질로 등록을 완료하는 성과를 거뒀다. 이를 바탕으로 입자의 크기별 개수를 감지하고 측정하는 초순수 입자계수기 성능시험 및 정도검사를 추가로 진행할 예정이다.

KTL은 일본과 미국이 주도하고 있는 입자성 표준물질을 국내에서도 공급할 수 있을 것으로 기대하고 있다. 이를 통해 시험 수수료 등 소요되는 경제적 비용을 절감할 뿐만 아니라 시험 일정을 매우 효과적으로 단축시켜 국내 기업에 실질적인 도움을 줄 계획이다.

한편 2020년 글로벌 워터 인텔리전스 보고서에 따르면, 주요 산업에 사용되는 고순도 공업용수 분야의 세계 시장 규모는 2024년 23조 원 규모까지 성장할 것으로 전망되며, 이 중 반도체용 초순수 시장은 4조4000억원으로 추산된다.

유동훈 KTL 수석연구원은 "국가 핵심기술인 반도체 공정에 사용하는 초순수용 입자표준물질 개발은 반도체 기반산업 구축의 초석"이라며 "초순수용 설비 수질 모니터링을 위한 표준화 및 국산과 외산의 비교 성능시험을 통해 우리나라 기술이 국내뿐만 아니라 세계에서도 경쟁할 수 있도록 최선의 노력을 다하겠다"고 말했다.

riby@tf.co.kr

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