나노종합기술원 "반도체 기술·공정서비스 지원 앞장"

국내 유일 12인치 기반 테스트베드 구축 등 산업 지원

나노종합기술원 전경. 나노종합기술원 제공

올해 설립 20주년을 맞은 나노종합기술원은 나노반도체 연구개발과 상용화를 지원하는 '서비스 프로바이더'(Service Provider) 역할에 집중하고 있다.

2004년 대전 한국과학기술원(KAIST) 부설 기관 '나노종합팹센터'로 설립된 이래, 산학연 연구자들에게 세계적 수준의 클린룸 환경을 제공해왔다. 2013년에는 현재의 나노종합기술원으로 새 이름을 달고, 2014년에는 과학기술정보통신부 직할 출연기관으로 위상을 높였다. 2019년에는 일본의 반도체 소재 수출규제에 따라, 국내 최초로 12인치 소부장 테스트베드를 구축하며 국내 소부장 업체를 지원하는 데 힘썼다.

국내 유일의 12인치 기반 테스트베드와 전주기 지원 가능한 8인치 기반 일괄 반도체 공정장비를 보유한 클린룸 등 최고 수준의 제조 인프라를 운영하며 국가 산업 발전에 핵심 역할을 했다.

실리콘을 기반으로 하는 반도체부터 MEMS 센서, 나노바이오 분야에 걸친 기술 플랫폼 서비스를 제공하는 등 현재까지 20만 건 이상의 연구개발 서비스와 40만 건 이상의 장비를 지원하며 산·학·연 연구자와 함께 성장했다.

코로나19 위기 상황에선, 반도체 공정기반 적외선 센서와 신속 진단키트를 개발하는 데에도 일조했다.

8인치 웨이퍼 상에 제작된 맥신기반 유연(flexible) 에너지 저장 소자의 모식도. 나노종합기술원 제공

설립 20주년을 맞아, 기술원은 그동안의 소부장 테스트베드, 8인치 패키징 개발경험 등을 바탕으로 연구자 수요 맞춤형 300mm 웨이퍼 기반 첨단 패키징 R&D 라인 구축 등을 추진하고 있다.

이를 통해 팹리스, 후공정업체, 소·부·장 등 연구자 대상 개방형 플랫폼 서비스를 지원하겠단 방침이다.

오는 10일 오후 1시에는 대전컨벤션센터 제1전시장 그랜드볼룸에서 국내외 연구자 300여 명을 초청해 '설립 20주년 기념식'을 연다. 국가 산업발전에 기여한 반도체 유공자를 시상하고, 새로운 미래 비전도 발표한다. 인공지능(AI), 패키징, 반도체 핵심 소재 등 미래 기술동향을 주제로 한 국제포럼도 열린다.

박흥수 나노종합기술원장. 김영태 기자

박흥수 나노종합기술원장은 "한국을 대표하는 공공 나노반도체 인프라로서, 국내외 연구개발과 산업화를 위해 '서비스 프로바이더' 역할을 공고히 하겠다"며 "국가와 지역 경제발전에 기여하는 기술원이 되기 위해 최선을 다하겠다"고 했다.